Sensor suhu untuk alat pengolahan wafer
Mengapa kita beralih ke metode pemanasan inframerah untuk pengolahan wafer Saat ini, semua orang membicarakan konsep netralitas karbon. Di dunia...
Suhu yang sangat akurat untuk proses IR pada wafer
Di proses litografi, pergeseran suhu sebesar setengah derajat selama proses pemanasan fotoresist bukanlah hal yang sepele. Hal ini akan berdampak...