Pada garis produksi 300 mm, ovennya tampak stabil, tetapi profil fotoresist masih mengalami perubahan setelah proses pemanasan ringan. Hal ini...

Di lantai pabrik, Anda sudah paham prosedurnya. Drift ±0,5°C selama proses pemanggangan photoresist sudah cukup untuk menggugurkan satu lot berisi...