Lihatlah bagaimana wafer berdiameter 300 mm jatuh dari jalurnya dan masuk ke dalam modul pemanasan. Photoresist perlu mencapai suhu yang...

Di fasilitas produksi, proses pemanasan jenis “soft bake” dan “hard bake” bukan sekadar proses penentuan suhu saja—melainkan juga proses penentuan...