Trên dây chuyền sản xuất có chiều dài 300mm, bộ phận dùng để xử lý vật liệu quang học chính là yếu tố then chốt. Nếu nhiệt độ từ bộ sưởi trong hệ thống điều hòa không khí thay đổi, thì quy trình sấy cũng sẽ bị ảnh hưởng theo. Điều này khiến tỷ lệ sản phẩm đạt chất lượng giảm sút ngay từ đầu, trước cả khi máy quét phát hiện ra các khiếm khuyết. Chúng tôi đã thiết kế mô-đun sưởi dành cho hệ thống điều hòa không khí nhằm duy trì sự ổn định về nhiệt độ ngay tại vị trí xử lý wafer.
Những yếu tố quan trọng Chúng tôi duy trì độ đồng đều về nhiệt độ ở mức ±0,1°C trong dòng khí được cung cấp, nhờ đó mà bề mặt wafer luôn nhận được điều kiện nhiệt độ ổn định. Mô-đun này hoạt động trong các phòng sạch loại 1–100, với mức độ ô nhiễm bằng không, điều này được xác nhận thông qua việc giám sát các hạt bụi tại chỗ. Bộ sưởi sử dụng vật liệu ít phát ra khí độc hại và có cấu trúc kín, nhờ đó tránh được sự nhiễm bẩn trong quá trình sấy. Công suất của bộ sưởi được thiết kế để hoạt động 24/7 với tốc độ tăng nhiệt được kiểm soát chặt chẽ; ngoài ra, bộ sưởi có thể được kết nối vào hệ thống điều khiển của AHU thông qua các giao diện công nghiệp tiêu chuẩn.
Điều quan trọng là quá trình sấy vật liệu quang học không phải là một bước đơn giản – đó là bước quyết định chất lượng sản phẩm. Ngay cả sự thay đổi nhỏ về nhiệt độ cũng có thể gây ra sự biến đổi về kích thước của sản phẩm và làm mất tính đồng đều của bề mặt wafer. Chúng tôi duy trì nhiệt độ ổn định tại bề mặt wafer, nhờ đó quy trình sấy luôn diễn ra ổn định từ lô này sang lô khác. Điều này giúp kiểm soát chính xác kích thước của sản phẩm, giảm số lần tái xử lý, và tạo ra môi trường nhiệt độ ổn định. Hiệu suất cũng được cải thiện, vì không còn sự lãng phí năng lượng do các chu kỳ điều chỉnh nhiệt độ nữa.
Khi lắp đặt, cần chú ý đến hướng dòng khí và các giá trị áp suất tĩnh của AHU; việc kết nối các ống dẫn không chính xác có thể gây ra các dao động nhỏ về nhiệt độ. Mô-đun sưởi cũng cần nguồn điện sạch – những dao động về điện áp có thể gây ra sự biến động về nhiệt độ trong thời gian ngắn. Hãy lên kế hoạch cho quá trình vận hành mô-đun này sao cho phù hợp với quy trình sấy, đồng thời kiểm tra lại các thông số kỹ thuật của mô-đun này để đảm bảo chúng phù hợp với yêu cầu cụ thể của sản phẩm.