なぜ、IRシステムにおいて金製の反射板が最適なのか
半導体製造工場では、熱をどれだけ速く、正確に制御できるかが重要です。多くの人々は対流式のオーブンを使っていますが、正直なところ、それらは大量のエネルギーを無駄にしてしまいます。私たちは、短波長の赤外線ランプと金メッキされた反射板を用いることで、より効率的な方法を見出しました。
金の特徴としては、通常のアルミニウムを使用すると、金属自体が過剰なエネルギーを吸収してしまうため非効率的です。一方、金は赤外線を非常に効率的に反射させ、熱をウェーハに直接伝えるのです。つまり、機械の枠に熱が蓄積されることがありません。
これにより、1枚のウェーハあたりの消費電力を大幅に削減できます。
しかし、本当に素晴らしいのは熱密度の高さです。長時間の予熱プロセスを必要としないため、待っている間に電力が無駄に消費されることもありません。このランプは基板の特定の吸収帯に作用するため、周囲の空気ではなく、実際に加熱したい部分が温められます。ほぼ瞬時に加熱が行われます。
また、クリーンルームのスペースが限られていることも問題です。そのため、この装置のサイズは極めて小さいです。既存の装置に簡単に取り付けられ、PIDコントローラーとも良好に動作します。応答時間は数ミリ秒程度です。
ただし注意点があります。このほどの高い熱密度は、冷却システムに大きな負担をかけます。もし冷却水システムが十分でなければ、ランプは予想よりも早く壊れてしまいます。使用する前に必ず冷却性能を確認してください。
最も良い点は、二酸化炭素排出量が大幅に削減されることです。無駄なエネルギー消費を抑えることで、ウェーハ加工の工程を変更することなく、排出量を減らすことができます。つまり、より賢いハードウェアが代わりに重労働を担ってくれるのです。