リンスチェンバーをオーブンのように使わないでください
ほとんどの赤外線ヒーターは、熱をあらゆる方向に放出します。つまり、360度全方位に熱が散らばります。狭い半導体リンスチェンバーでは、これは大きな問題を引き起こします。
熱が至る所に散らばると、装置の内壁がその熱を吸収してしまいます。すると、機械の外装が焼けてしまい、作業員が安全に触れることができないほど高温になってしまいます。本当にめちゃくちゃです。
この問題を解決するために、方向性のある赤外線ランプを使用します。
実際の動作原理
これは、単純な電球の代わりに懐中電灯のように光を集中させるものです。このランプは、反射材や特殊なコーティングを使って、熱を正確に必要な場所、つまりワークピースに送り込みます。
空気や機械のフレームを加熱するのにエネルギーを無駄にする代わりに、エネルギーは直接ワークピースに届きます。そうすることで、ウェーハの表面温度を適切に保ちつつ、装置の他の部分が過度に熱くなるのを防ぎます。これはとても合理的な方法です。
湿気への対処
リンスステーションは本来、湿気の多い場所です。そして、水と高圧の熱が混ざると、問題が発生します。
もし水分が高温の石英ランプに触れたり、端子に浸透したりすると、ランプが壊れてしまいます。だからこそ、私たちはランプをしっかりと密閉しています。接続部には頑丈なシールを使用し、短絡を防ぎ、フィラメントが酸化するのを防ぎます。これにより、高湿度の環境でもランプが壊れることはありません。
注意点とその対処法
ただし、熱を集中させるため、対象物にかかる熱量は非常に強くなります。これにより、装置の内壁が守られますが、ランプの位置を適切に設定しなければいけません。ランプが近すぎると、部品に熱点ができてしまいます。そのため、取り付けブラケットを正確に調整して、一定の間隔を保つ必要があります。
良い点は、これらのランプは既存のリンスモジュールに簡単に取り替えられるということです。PIDコントローラーを使って温度を安定させればよいのです。そうすれば、プロセスは正常に進み、作業員も安全です。とても簡単です。