なぜIR加熱がグリーンスタンダードを達成するためのより優れた方法なのか
グローブボックス内で作業を行う際、最も避けたいのは汚れです。熱は必要ですが、ウェーハの周りにほこりや粒子が飛び回るのは望ましくありません。だからこそ、私たちは赤外線加熱器を利用するのです。
空気を加熱するのではなく、赤外線は電磁波を利用します。これにより、よりクリーンな作業環境が実現されます。強制送風もなく、粒子も飛び回らず、純粋なエネルギーが直接作用します。
コツは物理学にあります。
一般的なオーブンは部屋全体を加熱してしまいますが、それは無駄な行為です。一方、赤外線は基材自体に直接作用します。波長を調整することで、樹脂や溶剤がそのエネルギーを効率的に吸収できます。
実際、これは非常に効率的です。不活性ガスを加熱するために無駄なエネルギーを使うことはありません。エネルギーは正確に必要な場所、つまり部品に届きます。
「グリーン」スタンダードへの対応
鉛フリーはんだを使用するには簡単ではありません。より高い温度や速い加熱速度が必要です。従来の対流式加熱方式を使えば、時間がかかりすぎて「熱による変形」のリスクがあります。
しかし、赤外線加熱ならその問題を解決できます。瞬時に最高温度に到達します。また、化学触媒や燃焼残渣の心配もありません。システム全体がクリーンな状態を保ちます。
注意すべき点
もちろん、これは魔法のようなものではありません。高密度の赤外線素子は強力な力を持っています。PIDコントローラーやサーミストップが適切に設定されていない場合、目標温度を超えてしまうことがあります。
また、シールド処理にも注意が必要です。グローブボックスに熱を逃がしたり反射したりする機能がなければ、筐体がその放射線を吸収してしまいます。そうなると、シールやガスケットが劣化してしまいます。
結論としては？
私たちは、既存の設備に簡単に取り替えられるようにこの赤外線素子を開発しました。抵抗式の空気加熱器から赤外線加熱器に切り替えるだけで、乾燥時間が短縮され、電力代も削減できます。また、雰囲気による問題も解消されます。
エネルギーの伝達方法を少し変えるだけで、全体的なプロセスがスムーズに進みます。