LCDパネルファブフロアにおける熱ドリフト
LCDパネルファブフロアでは、熱ドリフトは自らを告げることはありません。それは静かに歩留まりを蝕んでいきます。フォトレジストのソフトベークまたはハードベーク中に温度がわずかでもずれると、リソグラフィー、エッチング、堆積を通して続く寸法誤差を引き起こすことになります。私たちは、熱ドリフトをその源で抑えるために赤外線ヒーターを設計しました。
内部で重要なこと 私たちは短波赤外線を使用しているため、応答が迅速で熱の均一性が高いです。これにより、大型基板全体で繰り返し可能なベークプロファイルを提供します。制御はクローズドループで、設定値は厳しい許容範囲内に保たれ、熱予算が規格内に収まります。ヒーターは清潔に保たれ、温度が上昇する際にガス放出や粒子バーストがないため、クラス1–100の環境でも粒子数の急増を引き起こしません。構造はクォーツベースで、長寿命を実現し、数千時間にわたって安定した出力を維持します。接続は簡単で、標準的な電源供給と既存のプロセスチャンバーに適合するクリーンな機械的マウントが用意されています。
LCDファブでの利点 パネル製造では、必要なときに必要な場所で熱を供給することが重要です。私たちの赤外線ヒーターは、基板を迅速に加熱し、その後安定させるため、ソフトベークとハードベークが一貫して行われます。この安定性により、フォトレジストの欠陥が減少し、オーバーレイ精度が向上し、廃棄物が削減されます。また、稼働時間の向上にも寄与します。ユニットは予定通りに起動、加熱、安定するため、ラインはスムーズに進行します。エネルギー使用も効率的で、ヒーターはチャンバー全体を加熱するのではなく、基板を直接ターゲットとします。
計画しておくべき実用的な詳細 設置には基板への明確な視認性と近くの機器からの適切な熱絶縁が必要です。そうでなければ、制御ループ内でのクロストークのリスクがあります。立ち上げは短時間で済み、スタックとサイクル時間に合わせてプロファイルを調整するのに十分な時間が必要です。温度範囲の上限近くで運用する場合、エミッターにかかる熱ストレスが増加します。そのため、性能が予測可能であるように、稼働率に基づいて予防的な交換間隔を設定してください。