ガラス片の飛散を防ぎ、UHP加熱システムを安全に保つ
高負荷の半導体製造工場では、ヒーターランプが破損することは大きな問題です。停止時間が長くなるだけでなく、汚染も深刻な問題です。石英管が割れると、粒子が飛び散り、その結果、ウェハ全体がダメになってしまいます。 私たちは、そうした問題を避けるために、特別に設計された超高純度（UHP）ランプを製造しています。
汚染物質の拡散を防ぐ
まず、高品質の合成石英を使用します。この石英は清潔であり、極端な高温環境でも劣化しません。しかし、それだけではありません。 ウェハを傷つけないように、保護用のカバーや強化された石英製のケースを追加します。これはまるでセーフネットのようなものです。内部のフィラメントが壊れても、このカバーが破片を遮断し、ウェハを守ります。 また、ガスの充填やシール部分にも細心の注意を払っています。なぜかというと、内部圧力の急上昇が致命的な影響を与えるからです。最大出力で長時間動作させると、部品が膨張します。私たちは、管が曲がったり割れたりしないように、膨張量を正確に計算しています。
熱、電力、そして「ちらつき」の問題
高出力のランプは、必要な速度で加熱できますが、電気接点に負担をかけます。私たちは、アーク発生を防ぐために、精密に調整された電極を使用しています。アーク発生によって、ガラスが早期に破損してしまいます。 もう一つ、電源にも注意が必要です。 電圧が不安定になると、フィラメントが「ちらつき」ます。これにより機械的な疲労が生じます。5％の電圧上昇でも、ランプの寿命が数百時間短くなってしまいます。このリスクは冒すべきではありません。
テレコミュニケーションのトレードオフ
正直に言うと、これらの安全対策を施すと、設置が少し複雑になります。 また、保護用のカバーによって、赤外線の伝達が少し阻害されます。そのため、元の速度を維持するために、電力設定を2～5％上げる必要があるかもしれません。 しかし、汚染されたウェハを廃棄するコストと比べれば、これは大した代償ではありません。