クラス100のクリーンルームを本当に清潔な状態に保つために
クラス100のクリーンルームを運用する際、加熱はかなり厄介な問題です。重要なのは温度そのものではなく、目に見えない微粒子です。ほとんどの加熱素子は汚れており、加熱や冷却のたびに微小な粒子が放出されます。
私たちはより良い方法を考え出しました。炭素繊維フィラメントを高純度の合成石英の中に封入するのです。
なぜ石英なのか？
高温でも壊れず、揮発性有機化合物（VOC）も漏れ出しません。また、炭素繊維がチューブの中に真空密封されているため、微粒子も外に漏れ出しません。これにより、ウェーハや光学部品を損傷させることのない、クリーンな熱が得られます。
速度の点
この炭素繊維ランプは非常に速く加熱できます。古い金属コイルのように時間がかからず、数秒で目的の温度に到達します。これはHVACシステムにとって大きな利点です。巨大な熱負荷に対処する必要がないからです。
ただし、注意点もあります。電力密度に気を付けてください。高ワット数のランプを狭い空間に設置すると、すぐに過熱してしまいます。また、石英が膨張する際にマウントブラケットが耐えられないと、チューブが割れてしまいます。スプリング式のマウントを使用しましょう。そうすれば、ガラスが加熱時に伸縮できます。
設置方法
これらは標準的なIRアレイの代替品として作られているため、簡単に交換できます。また、金メッキや高品質のニッケル製のコネクタも使用しています。なぜかというと、酸化によってアークが発生し、それによって微粒子が生じるからです。それだけです。
最後に、重要な点があります。高純度の石英は皮脂が大嫌いです。
もし、設置時に手袋を着用せずにガラスに触れてしまうと、皮脂が表面に残ってしまいます。これにより「ホットスポット」ができ、本来の寿命よりも早くチューブが破損してしまいます。必ず、スイッチを入れる前に、全員が試薬級のIPAでチューブを拭き清めてください。