300mmウェーハを扱う際、リソグラフィー工程において最も重要なのが加熱装置です。AHUのヒーターの性能が悪くなると、バケィングプロセスのパフォーマンスも悪化し、欠陥検出装置が異常を検知する前から生産効率が低下してしまいます。私たちは、ウェーハがある場所でのみ熱環境を安定させるために、専用の空調・ヒーターモジュールを開発しました。
重要なのは何か 供給される空気の温度を±0.1°C以内に保つことで、バケィングプレートが一定の条件の下で動作できます。このモジュールは、クラス1～100の清浄室で使用され、粒子の発生がないことが確認されています。また、ヒーターは低ガス放出型の素材を使用し、密封された熱伝達経路を持っているため、ソフトバケィングやハードバケィングの際に汚染が発生する心配がありません。出力は24時間365日連続して動作できるように設計されており、標準的な工業用インターフェースを通じて既存のAHU制御システムと連携します。
ポイントは、フォトレジストのバケィングは単なる工程ではなく、寸法精度に影響を与える重要なステップだということです。わずかな温度変動でも、寸法のばらつきやエッジ部分の不均一性を引き起こします。そこで、ウェーハ面の温度を一定に保つことで、同じロットごとに同じような結果が得られます。これにより、CDの制御が向上し、再処理の回数が減少し、予測可能な熱管理が実現します。また、オーバーシュートや修正のためのエネルギーの無駄遣いもなくなり、効率も向上します。
設置時には、AHUの空気の流れの方向や静圧の許容範囲に注意が必要です。不適切なダクト配置によって微小な乱流が生じ、均一性が損なわれます。また、モジュールには清潔な電力供給も必要です。電圧の変動は一時的な温度の不安定を引き起こします。したがって、リソグラフィー工程と合わせて調整を行い、具体的なレジストの特性に合わせてプロファイルを検証する必要があります。