MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター

ガラスの破片が降り注ぐのを防ぐ：IR乾燥時にウェーハを清潔に保つ方法 MEMSセンサーの製造において、赤外線ランプが故障すると大変なことになります。それは単なる部品の故障ではなく、まさに災害です。 高圧下で石英管が割れると、ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハ上に降り注ぎます。一度故障...