ウェーハ処理における二酸化炭素削減（正気を保ちながら） 現在、すべての半導体工場は、ネットゼロ目標を達成するために苦労している。しかし、実際にエネルギーがどこで消費されているかを見てみると、その多くはウェーハの加熱や硬化の過程で発生する無駄な熱だ。 従来の方法、つまり大規模な対流式オーブンを使う方...

熱の無駄遣いをやめよう：なぜ精密なアルミニウム製反射板が重要なのか 半導体製造の世界では、熱は最良の「味方」です。ただし、熱が本来あるべき場所以外に行ってしまうと問題になります。 高出力のIRランプを考えてみてください。そのエネルギーはまっすぐ前にしか進まず、あらゆる方向に散乱します。そのエネルギ...

はじめに 私たちは、忙しく使われる作業場や湿気の多いバスルームに適した、壁掛け式の赤外線ヒーターを製造しています。その目的とは、無駄なお金を使って空気を温めることなく、必要な場所だけを適切に加熱することです。 もしあなたがエンジニアであり、施設の設計を行っているのであれば、実際にやるべきことは簡単...

リソグラフィーの工程において、フォトレジストを加熱する際に半度ものずれが生じるというのは、些細な問題ではありません。これは、電気テスト時の歩留まりの低下や、再処理が必要となるほどの粒子の発生を引き起こします。ウェーハのIR加熱では、単に一定の温度に到達させるだけでなく、ウェーハ全体にわたって安定し...