なぜウェーハ輸送用ヒーターに金を使用するのか
クリーンルーム内でウェーハを移動させるとき、温度は非常に重要です。温度が低すぎたり、急激に変化したりすると、汚染や熱衝撃が発生してしまいます。これは良いスタートではありません。
そうしたことを防ぐために、私たちは金でコーティングされた反射板を使用します。聞くと高級に思えますが、実際には効率を重視しているだけです。熱がウェーハに届くようにし、トロリーの枠に消えてしまわないようにするのです。
金と熱の関係
多くの人は反射板としてアルミニウムを思い浮かべますが、実際にはアルミニウムは赤外線エネルギーのかなりの部分を吸収してしまいます。一方、金は違います。長波長の赤外線を元の場所に戻すのに非常に優れています。
これは、装置を高価に見せるためではありません。光子のことを考えているのです。高純度の金を反射板にコーティングすることで、熱を正確に必要な場所に送ることができます。支払った電力はすべて有効に活用されます。
最適な条件を見つける
「なぜ単に出力を上げればいいのでは？」と思うかもしれません。確かに、そうすれば早く加熱できます。しかし、それでは電源に大きな負担がかかります。また、狭い空間に過剰な熱を与えると、ウェーハに熱点ができてしまい、品質が低下してしまいます。
私たちは、反射板の形状やコーティングの厚さを調整するのに多くの時間を費やしています。目指すのは、ウェーハ全体に均一に熱が行き渡ることです。何の問題も起こらないようにするのです。
メンテナンスについて
良いことに、金は化学的に安定しています。クリーンルーム内では、ガスが放出される心配もないので、これは大きな利点です。
しかし、金は柔らかいという欠点があります。もしメンテナンスを行う人が研磨剤入りの道具を使ってしまうと、コーティングが剥がれてしまいます。金がなくなると、熱効率が大幅に低下してしまいます。このヒーターは精度を重視して作られているので、乱暴な清掃は避けるべきです。適切な溶剤を使って清潔に保てば、正常に機能し続けます。