Ngăn chặn việc lãng phí nhiệt trong hệ thống xử lý wafer của bạn
Khi bạn đun nóng các tấm silicon, mỗi watt năng lượng đều rất quan trọng. Vấn đề là: các vỏ máy làm từ thép không gỉ thông thường giống như những miếng bọt biển; chúng hấp thụ quá nhiều năng lượng hồng ngoại. Điều này không chỉ gây lãng phí năng lượng mà còn khiến thân máy trở thành “bộ tản nhiệt khổng lồ”.
Chúng tôi đã giải quyết vấn đề này bằng cách phủ lớp vàng có độ tinh khiết cao bên trong vỏ máy.
Tại sao lại chọn vàng?
Không phải vì vàng mang vẻ đẹp sang trọng, mà vì khả năng phản xạ bức xạ hồng ngoại của nó. Những chiếc đèn halogen hoặc đèn thạch anh mà bạn sử dụng phát ra ánh sáng thuộc các bước sóng mà vàng có khả năng phản xạ tốt. Thay vì để vỏ máy hấp thụ nhiệt, lớp vàng sẽ phản xạ khoảng 98% năng lượng trở lại vào tấm silicon. Như vậy, năng lượng sẽ được sử dụng một cách hiệu quả nhất.
Tuy nhiên, cũng cần lưu ý một số điểm. Chúng tôi sử dụng thép không gỉ chất lượng cao để chế tạo vỏ máy, nhằm tránh tình trạng vỏ máy bị biến dạng khi máy hoạt động ở nhiệt độ cao. Để đảm bảo lớp vàng không bị bong tróc, chúng tôi áp dụng phương pháp phủ vàng bằng khí chân không.
Nhưng cũng có một hạn chế: vàng rất kén môi trường. Nếu quy trình sản xuất của bạn sử dụng các loại khí ăn mòn, lớp vàng có thể bị oxy hóa. Khi đó, khả năng phản xạ của lớp vàng sẽ giảm, dẫn đến việc tăng thời gian xử lý. Nếu đó là trường hợp của bạn, hãy sử dụng lớp bảo vệ bằng thạch anh để giữ cho lớp vàng luôn sạch sẽ.
Lợi ích mà giải pháp này mang lại
Lợi ích lớn nhất chính là tốc độ. Bạn sẽ đạt được nhiệt độ mong muốn nhanh hơn nhiều. Điều này giúp bạn có hai lựa chọn: hoặc giảm công suất đèn down để giảm áp lực lên nguồn cung cấp điện, hoặc rút ngắn thời gian khởi động máy để xử lý nhiều tấm silicon hơn.
Một mẹo nhỏ: khi lắp đặt hệ thống, hãy dành chút thời gian để điều chỉnh các bộ điều khiển PID. Hệ thống sẽ trở nên nhạy bén hơn, vì vậy bạn cần tính đến điều này.
Ngoài ra, vì nhiệt lượng được tập trung trực tiếp lên tấm silicon, phần còn lại của máy sẽ giữ được nhiệt độ thấp hơn. Các quạt làm mát sẽ không cần hoạt động quá mức, điều này mang lại lợi ích cho tất cả mọi người.