لیتھوگرافی کے عمل میں، فوٹوریزسٹ کو گرم کرنے کے دوران آدھے ڈگری کا فرق کوئی معمولی خرابی نہیں ہے۔ اس کی وجہ سے برقی ٹیسٹوں میں ناکامی ہوتی ہے، اور ذرات کی تعداد میں اضافہ ہو جاتا ہے؛ جس کی وجہ سے دوبارہ کام کرنا پڑتا ہے۔ ویفر کو IR حرارت دینے کے لئے صرف ایک مخصوص درجہ حرارت ہی کافی نہیں ہے؛ بلکہ پورے ویفر پر یکساں اور مستحکم حرارت فراہم کرنا ضروری ہے، تاکہ کوئی آلودگی پیدا نہ ہو۔
کیا اہم ہے؟
ہم نے ویفر کے لئے IR سسٹم کو کوارٹز سے بنے ماڈیولز کے ذریعے تیار کیا ہے؛ تاکہ تیز ردِعمل اور بہتر حرارتی کنٹرول حاصل کیا جاسکے۔ 300 ملی میٹر والے ویفر پر درجہ حرارت کو ±0.1°C کے اندر رکھا جاتا ہے، اور ہر بار کے عمل میں درجہ حرارت کی استحکامیت چند ملی ڈگریوں کے اندر رہتی ہے۔ یہ سسٹم کلاس 1 سے کلاس 100 تک کے کلین رومز میں استعمال کیا جاسکتا ہے؛ کیوں کہ اس میں کم گیس خارج ہوتی ہے، اور ذرات کو کنٹرول کرنے والے نظام بھی موجود ہے۔ ذرات کی کوئی پیداوار نہ ہونا ایک اہم خصوصیت ہے؛ یہ سطح کی صفائی، سیلنگ کے طریقوں، اور فوٹوریزسٹ کے ضمنی مصنوعات کو روکنے کی حکمت عملی سے ممکن ہے۔
فوٹوریزسٹ کی پروسیسنگ میں، “نرم بیکنگ” سے حل کارکنوں کو ہٹایا جاتا ہے، جبکہ “سخت بیکنگ” سے تصویر کو ایچنگ کے لئے تیار کیا جاتا ہے۔ جب IR شعاعیں تیزی سے اور مستحکم طریقے سے ہدف پر پہنچتی ہیں، تو عمل کا وقت کم ہو جاتا ہے، اور پروفائل کنٹرول برقرار رہتا ہے۔
بہتر حرارتی کنٹرول کی وجہ سے دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہو جاتی ہے، CD کی ساخت میں استحکام رہتا ہے، اور زیادہ توانائی ضائع نہیں ہوتی۔ یہ سسٹم 24/7 کام کرتا ہے، اور باقاعدگی سے مرمت کی جاتی ہے؛ اس طرح غیرمتوقع بندشوں کی وجہ سے پیدا ہونے والی پریشانیاں کم ہو جاتی ہیں، اور پروڈکشن کا شیڈول برقرار رہتا ہے۔
اعلی درستگی والی IR حرارت، فلموں اور سبسٹریٹس کی درمیانی اختلافات کے لحاظ سے حساس ہے۔ ہر سبسٹریٹ کے لئے لیمپ کی طاقت اور وقت کو مناسب طریقے سے ترتیب دینا ضروری ہے، اور کوٹر/ٹریک انٹرفیس سے ہم آہنگی کو برقرار رکھنا بھی ضروری ہے۔
ابتدائی تیاری میں وقت لگتا ہے، لیکن ایک بار جب پروسیس مکمل ہو جاتا ہے، تو لیمپ کی طاقت اور درجہ حرارت کی جانچ کے ذریعے پروسیس ہمیشہ معیار کے مطابق رہتا ہے۔