300 ملی میٹر لائن پر، اوون ساختی طور پر مستحکم دکھائی دیتا ہے، لیکن “فوٹوریزسٹ” کی خصوصیات نرم بیکنگ کے بعد بھی تبدیل رہتی ہیں۔ اس کی وجہ سے ایچنگ کے دوران لائن کی چوڑائی میں تغیرات پیدا ہوتے ہیں، اور یہ مسئلہ دراصل ویفر پر غیر یکساں حرارتی تقسیم کا نتیجہ ہے۔
زیادہ تر صورتوں میں، اس کی وجہ ڈرائر لیمپ ہی ہوتا ہے؛ کیوں کہ اس کے عناصر وقت کے ساتھ خراب ہو جاتے ہیں، اور کنٹرولر ان تغیرات کو درست نہیں کر پاتا۔
فرش پر کیا اہم ہے؟
DNS اسکرین ویفر ڈرائر لیمپ میں کوارٹز سے بنے ہوئے شارٹ-ویو انفراریڈ ایمیٹر استعمال کیے گئے ہیں۔ اس کی وجہ سے ویفر پر یکساں حرارت پیدا ہوتی ہے، اور اس کی درستگی ±0.1°C کے اندر رہتی ہے۔
لیمپ کی کارکردگی ہزاروں بار بیکنگ کے بعد بھی برقرار رہتی ہے؛ اس لیے نرم بیکنگ کے دوران تمام تر پیرامیٹرز درست رہتے ہیں، اور ہارڈ بیکنگ کے دوران بھی تمام تر پیرامیٹرز مطلوبہ سطح پر ہی رہتے ہیں۔
یہ لیمپ کلاس 1–100 کے صاف کمروں کے لئے ہی مناسب ہے، اور پورا سسٹم ایسے ہی ڈیزائن کیا گیا ہے کہ اس سے کوئی ذرہ پیدا نہ ہو۔ سطحوں اور فکسچرز کا انتخاب اس طرح کیا گیا ہے کہ ان سے کوئی ذرہ باہر نہ نکلے۔
لیمپ کی کارکردگی 5,000 گھنٹوں تک برقرار رہتی ہے، اور اس کی شدت میں 5% سے بھی کم تغیر ہوتا ہے؛ اس لیے کم ہی دوبارہ کوالیفائی کی ضرورت پڑتی ہے، اور کم ہی کنسیمپٹیبلز کی ضرورت پڑتی ہے۔
لیتھوگرافی میں اس کی اہمیت کیا ہے؟
نرم بیکنگ اور ہارڈ بیکنگ سے فوٹوریزسٹ کی خصوصیات، چپکنے کی صلاحیت، اور CD کنٹرول میں مدد ملتی ہے۔ جب حرارتی چکر بار بار دہرایا جاتا ہے، تو بیکنگ کی وجہ سے پیدا ہونے والی غیر یکساں حالتوں کی وجہ سے ویسٹ کم ہو جاتا ہے۔
بہتر یکساں حالتوں کی وجہ سے ایچنگ کے بعد کم ہی دوبارہ کام کرنے کی ضرورت پڑتی ہے، پیداوار بڑھ جاتی ہے، اور پروسیس کے اندر ہی تبدیلیاں ممکن ہو جاتی ہیں۔
تیز حرارتی ردِعمل کی وجہ سے ہر بیکنگ میں استعمال ہونے والی توانائی کم ہو جاتی ہے، اور لیمپ کی طویل عمر کی وجہ سے غیر منصوبہ بند بندشیں نہیں ہوتیں۔
ابتدا میں کیا کرنا ضروری ہے؟
انسٹالیشن کے دوران لیمپ کو ڈرائر چیمبر کے سائز اور آپٹیکل راستے کے مطابق ہی لگانا ضروری ہے۔ ہم پہلے کنکٹر کی قسم، وولٹیج، اور کولنگ انٹرفیس کی تصدیق کرتے ہیں۔
لیمپ کو اپنے مخصوص ماحولیاتی حالات میں ہی رکھنا ضروری ہے؛ اگر اس سے باہر رکھا جائے، تو لیمپ کی عمر متاثر ہو جاتی ہے۔
الائنمنٹ اور ریفلیکٹر کی صفائی کے لئے منظم منصوبہ بندی بھی ضروری ہے؛ ورنہ مطلوبہ یکساں حالت حاصل نہیں ہو پائے گی۔