บนชั้นลิโธกราฟี คุณจะเรียนรู้เร็วว่า soft bake ที่เบี่ยงเบนแค่ครึ่งองศาจะส่งผลต่อการบริหารจัดการ CD และ hard bake...

บนพื้นที่ผลิต คุณทราบขั้นตอนดีแล้ว การเบกโฟโตเรซิสต์ที่เกิดความคลาดเคลื่อน ±0.5°C ก็เพียงพอที่จะทำให้ล็อต 500 แผ่นเวเฟอร์ต้องถูกตัดทิ้ง...