בקו של 300 ממ, תא הליתוגרפיה הוא החלק החשוב ביותר. אם טמפרטורת החימום של AHU משתנה, גם פרופיל החימום משתנה – וכך נפגעת האיכות של המוצר, עוד לפני שמכשיר הסריקה מזהה בעיות. ייצרנו את מודול החימום שלנו כדי לשמור על יציבות הטמפרטורה בדיוק במקום החשוב ביותר – על פני הוואפר.
מה חשוב באמת? אנו שומרים על אחידות טמפרטורית של ±0.1°C לאורך זרם האוויר, כך שהוואפר יקבל תנאי חימום אחידים. המודול פועל בחדרים נקיים מסוג Class 1–100, ללא יצירת חלקיקים, כפי שניתן לוודא באמצעות מעקב אחר החלקיקים במקום. החימום משתמש בחומרים שאינם פולטים גזים, ובמסלול חימום אטום – כך שאין סיכוי לזיהום במהלך תהליך החימום. היכולת של המודול לפעול 24/7 עם קצבי חימום מבוקרים, והוא יכול להתחבר למערכות הבקרה של AHU באמצעות יציאות תעשייתיות סטנדרטיות.
חשוב לשים לב לכיוון זרימת האוויר ולטלורנסים של הלחץ הסטטי ב-AHU; חיבורים לא תקינים יגרמו לטורבולנסים שיפגעו באחידות הטמפרטורה. המודול גם זקוק לאספקת אנרגיה נקייה – תנודות במתח החשמלי גורמות לתנודות טמפרטורה קצרות מועד. יש לתכנן את תהליך ההפעלה בהתאם לפרוטוקולי החימום של הליתוגרפיה, ולוודא שהפרופיל שנוצר תואם את הדרישות של הוואפר.