چرا ما از روش استفاده از هوای داغ در فرآیندهای تولید نیمههادیها دور میشویم؟
اگر تا به حال وقتی را صرف بهسازی تجهیزات مورد استفاده در اتاقهای پاکسازی کردهاید، میدانید که فرآیند گرم کردن هوا چقدر زمانبر است. این بخش از فرآیند، همیشه به نظر میرسد که کار سختی است.
بیشتر کارخانههای قدیمی همچنان از روش گرم کردن هوا با استفاده از هوای داغ استفاده میکنند. مشکل این روش این است که باید ابتدا هوا را گرم کرد، سپس امیدوار بود که گرما وارد مواد مورد استفاده شود. این روش کند و غیرکارآمد است. صادقانه بگوییم، وقتی که سعی داریم در مهلت مشخصی کار را تمام کنیم، این روش واقعاً آزاردهنده است.
به همین دلیل، بسیاری از ما به استفاده از روش گرم کردن با امواج مادون قرمز کوتاه فرو رفتهایم. این روش، نیاز به استفاده از هوای داغ را از بین میبرد.
دیگر نیازی به گرم کردن هوا نیست
فکر کنید: روش گرم کردن هوا از طریق همرفت، در واقع به منتظر ماندن برای گرم شدن هوا تا بتواند وارد مواد شود، بستگی دارد. اما روش مادون قرمز اصلاً به هوا اهمیتی نمیدهد؛ این روش از تابش الکترومغناطیسی برای انتقال انرژی مستقیماً به مواد استفاده میکند. شما دیگر نیازی به گرم کردن کل اتاق ندارید؛ فقط بخش مورد نظر را گرم میکنید. تأخیر بین فعال شدن دستگاه و رسیدن به دمای لازم، تقریباً از بین میرود.
تعداد بیشتری ویفر، فضای کمتر
وقتی از روش مادون قرمز استفاده میکنید، محدوده گرمایشی میتواند بسیار کوچکتر باشد. از آنجایی که گرما بسیار متمرکز است، دیگر نیازی به استفاده از محفظههای بزرگ برای حفظ ثبات دما نیست. این امر باعث آزاد شدن فضای زیادی در کارخانه میشود.
اما مزیت واقعی این روش، سرعت است. تصور کنید که چرخه گرم کردن ۱۰ دقیقهای را میتوانید به ۲ دقیقه کاهش دهید. در این صورت، میتوانید در هر ساعت تعداد بیشتری ویفر تولید کنید، بدون اینکه نیاز به خرید و نصب ماشینآلات جدیدی باشد.
واقعیت
البته، روش مادون قرمز جادویی نیست؛ این روش نیز معایبی دارد.
از آنجایی که گرما بسیار متمرکز است، ممکن است در برخی نقاط، گرما به آنجا نرسد. در چنین مواقعی، هنوز نیاز به استفاده از روش همرفت برای پر کردن این فاصلهها وجود دارد.
همچنین، لازم به ذکر است که لامپهای با توان بالا، در انتهای خود بسیار داغ میشوند. اگر دستگاه را ۲۴ ساعته روشن نگه میدارید، نباید در زمینه سیمکشی یا فنهای خنککننده کوتاهی کنید؛ در غیر این صورت، با مشکلاتی مانند خراب شدن کانکتورها و توقف غیرمنتظره دستگاه روبرو خواهید شد.