چرا از طلا برای ساخت هیترهای حمل و نقل ویفرها استفاده میکنیم؟
وقتی که ویفرها را در یک اتاق تمیز جابجا میکنیم، دما عامل بسیار مهمی است. اگر دما خیلی پایین باشد یا بیش از حد تغییر کند، منجر به آلودگی یا شوک حرارتی خواهد شد. این روش خوبی برای شروع روز نیست.
برای جلوگیری از این مشکلات، از بازتابندههای پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم. این روش شاید پیچیده به نظر برسد، اما در واقع هدف آن، بهینهسازی بازدهی است. ما میخواهیم که گرما دقیقاً به ویفر برسد، نه اینکه در بدنه ترولی از بین برود.
طلا و گرما
بیشتر مردم فکر میکنند که برای ساخت بازتابندهها باید از آلومینیوم استفاده کرد، اما در واقع آلومینیوم بخش قابل توجهی از انرژی مادون قرمز را جذب میکند. طلا متفاوت است؛ طلا در بازتاب تشعشعات مادون قرمز بسیار مؤثر است.
هدف این نیست که تجهیزات گرانقیمت به نظر برسند، بلکه هدف، استفاده از فوتونها است. با استفاده از طلا با خلوص بالا، میتوانیم جریان گرما را دقیقاً به جایی که لازم است، هدایت کنیم. هر وات انرژی که مصرف میکنیم، واقعاً کار خود را انجام میدهد.
یافتن نقطه بهینه
شاید فکر کنید: «چرا از میزان واتی بالاتری استفاده نکنیم؟» البته، در این صورت گرمایش سریعتر خواهد بود، اما این کار فشار زیادی بر سیستم تأمین انرژی وارد میکند. علاوه بر این، اگر گرمای بیش از حدی به یک فضای کوچک وارد شود، منجر به ایجاد نقاط داغ روی ویفر خواهد شد؛ این موضوع برای حفظ یکنواختی ویفر مشکلساز است.
ما زمان زیادی را صرف تنظیم شکل بازتابنده و ضخامت لایه طلا میکنیم. هدف، توزیع یکنواخت گرما در سراسر ویفر است. هیچ مشکلی پیش نخواهد آمد.
نکاتی درباره نگهداری
خبر خوب این است که طلا از نظر شیمیایی پایدار است. در یک اتاق تمیز، این موضوع بسیار مهم است، زیرا نیازی به نگرانی درباره خارج شدن گازهای شیمیایی از طلا نیست.
اما مشکل اینجاست که طلا نرم است. اگر تیم نگهداری از پدهای ساینده برای تمیز کردن آن استفاده کند، لایه طلا از بین خواهد رفت. وقتی طلا از بین برود، بازدهی حرارتی تجهیزات کاهش خواهد یافت. این هیترها برای کار دقیق ساخته شدهاند، نه برای تمیز کردن خشن. فقط از مواد شیمیایی مجاز برای تمیز کردن آنها استفاده کنید؛ در این صورت، تجهیزات همانطور که باید، کار خواهند کرد.