حفظ تمیزی اتاقهای کلاس ۱۰۰
اگر شما مدیر یک اتاق کلاس ۱۰۰ هستید، قطعاً از مشکلات ناشی از وجود ذرات در این اتاقها آگاهید. حتی یک ذره کوچک یا مقدار کمی گاز ناشی از عناصر گرمایشی، میتواند باعث کاهش کیفیت فرآیندهای ساخت نیمههادی شود. این موضوع واقعاً آزاردهنده است.
به همین دلیل، ما از برقگرمکنهای معمولی استفاده را کنار گذاشتیم و به جای آنها از لولههای کوارتز با خلوص بالا و پوشش طلا استفاده کردیم.
چرا طلا مهم است؟
در واقع، اکثر لامپهای مادون قرمز، گرما را به تمام جهات پراکنده میکنند. اما در دستگاههای ساخت نیمههادی، این موضوع اتلاف انرژی است؛ چون تنها گرمایی که به ویفر میرسد، اهمیت دارد. بنابراین، ما یک لایه نازک از طلا روی پشت لوله کوارتز قرار دادیم؛ این لایه مانند یک آینه عمل کرده و تمام انرژی مادون قرمز را به سمت جلو هدایت میکند.
نتیجه چیست؟ تراکم گرما به طور چشمگیری افزایش مییابد، بدون اینکه نیاز به افزایش توان لامپ باشد. همچنین، طلا از نظر شیمیایی بیتغییر است؛ بنابراین نمیتواند اکسید شود یا از روی لوله جدا شود. در نتیجه، هدف «عدم وجود آلاینده» در اتاق کلاس ۱۰۰، واقعاً محقق میشود.
ذرات موجود در مواد و گرما
ما از کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ زیرا این ماده مانع از حرکت ناخالصیها در هنگام گرم شدن میشود. این لامپها برای مقاومت در برابر چرخههای گرمایی سریع طراحی شدهاند.
اما یک نکته مهم: از آنجایی که پوشش طلا، انرژی زیادی را به سمت جلو هدایت میکند، گرمای تولید شده بسیار زیاد است. لطفاً اطمینان حاصل کنید که سیستم خنککننده لامپ مناسب باشد؛ در غیر این صورت، کوارتز ممکن است در انتهاههایش دچار گرمای بیش از حد شود.
نصب لامپها و حفظ عملکرد آنها
ما این لامپها را طوری طراحی کردهایم که بتوان آنها را به راحتی جایگزین کرد. نیازی به نگرانی درباره نفوذ ذرات در هنگام نصب نیست.
یک توصیه درباره سیمکشی: اطمینان حاصل کنید که منبع تغذیه لامپ پایدار باشد؛ تغییرات ناگهانی ولتاژ میتواند باعث خراب شدن فیلامنت لامپ شود.
اگر متوجه کاهش خروجی لامپ شدید، احتمالاً به دلیل وجود ذرات روی سطح کوارتز است. برای تمیز کردن آن، از محلول IPA استفاده کنید.
لطفاً، از پارچههای سخت برای تمیز کردن لامپ استفاده نکنید؛ زیرا این پارچهها پوشش طلا را خراشیده و همان ذراتی را ایجاد میکنند که سعی دارید از بین ببرید. از پارچههای نرم برای تمیز کردن لامپ استفاده کنید.