دیگر اجازه ندهید انرژی گرما در سیستمهای شما هدر رود!
وقتی که ویفرهای سیلیکونی را گرم میکنید، هر وات انرژی اهمیت زیادی دارد. مشکل اینجاست که ظروف استاندارد ساخته شده از فولاد ضدزنگ، مانند اسفنج عمل میکنند؛ آنها انرژی مادون قرمز را جذب میکنند. این کار نه تنها باعث هدررفت انرژی میشود، بلکه باعث میشود بدنه تجهیزات به یک منبع گرمایی عمل کند.
ما این مشکل را با پوشاندن داخل ظرف حامل گرما با طلای با خلوص بالا، حل کردیم.
چرا طلا؟
دلیل آن، ظاهر زیبای طلا نیست؛ بلکه به دلیل نحوه برخورد طلا با تابش مادون قرمز است. لامپهای هالوژنی یا کوارتزی که استفاده میکنید، طول موجهایی را از خود ساطع میکنند که طلا آنها را به راحتی بازتاب میدهد. در نتیجه، لایه طلا تا ۹۸٪ از این فوتونها را مستقیماً به سمت ویفرها بازتاب میدهد.
این کار باعث میشود انرژی در جای مناسب خود قرار بگیرد.
البته، چند نکته عملی نیز وجود دارد. ما این ظروف را از فولاد ضدزنگ با کیفیت بالا ساختهایم تا در شرایط دمای بالا تغییر شکل ندهند. همچنین، برای جلوگیری از پوستهپوسته شدن لایه طلا، آن را با روش خلأ روی سطح ظرف قرار میدهیم.
اما یک مشکل وجود دارد: طلا حساس است؛ اگر فرآیند شما از گازهای خورنده استفاده کند، لایه طلا میتواند کدر شود. در این صورت، قدرت بازتاب نور کاهش یافته و زمان لازم برای گرم شدن ویفرها نیز افزایش مییابد. اگر چنین است، باید از یک سپر کوارتزی برای حفاظت از لایه طلا استفاده کنید.
فواید این روش چیست؟
بزرگترین مزیت، سرعت است؛ شما میتوانید دمای مورد نظر را خیلی سریعتر به دست آورید.
این امر دو گزینه را برای شما فراهم میکند: یا میتوانید توان لامپها را کاهش دهید تا فشار کمتری بر سیستم تغذیه الکتریکی وارد شود، یا میتوانید زمان لازم برای گرم شدن ویفرها را کاهش دهید.
یک نکته مهم: هنگام پیکربندی سیستم، حتماً کنترلکنندههای PID را تنظیم کنید؛ سیستم اکنون پاسخگویی بهتری دارد، بنابراین باید این موضوع را در نظر بگیرید.
علاوه بر این، از آنجایی که گرما به طور دقیق روی ویفرها تمرکز میشود، بقیه بخشهای ماشین نیز خنکتر باقی میمانند. پروانههای خنککننده نیازی به کار بیشتری نخواهند داشت، که این موضوع برای همه مفید است.