در فرآیند تولید، اگر مرحله خشککردن به درستی انجام نشود، فرآیند آزمایش روی تراشه مختل میشود. در این حالت، مشاهده میشود که رسوباتی در کانالها تشکیل شده و بازدهی تولید در تراشههای ۳۰۰ میلیمتری کاهش مییابد. هیتر باید طبق دستورالعملهای مشخص شده عمل کند، نه طبق دمای اتاق.
موارد مهم از نظر فنی:
ما هیتر مورد استفاده برای خشککردن روی تراشه را با استفاده از فرستندههای مادون قرمز کوتاهامواج در ماژولهای کوارتز-سرامیک ساختیم. این هیتر دارای پاسخگویی سریع و جرم حرارتی پایینی است؛ دقیقاً همان چیزی که نیاز داریم. یکنواختی دما در کل منطقه خشککردن حدود ±۰.۱ درجه سانتیگراد است؛ بنابراین پروفایلهای خشککردن برای فوتورزیست نیز در محدوده مشخص شده باقی میمانند.
این هیتر برای اتاقهای پاکسازی درجه ۱ تا ۱۰۰ طراحی شده است؛ دارای بدنههای ضدآب، مواد با کیفیت HEPA، و عدم تولید ذرات در حین عملکرد مداوم. قابلیت تکرارپذیری این هیتر بسیار خوب است؛ دمای تنظیم شده در هر چرخه، در محدوده مشخصی باقی میماند.
چرا این هیتر برای کارهای ما مناسب است؟
این هیتر مشکلات مربوط به فرآیند تولید و بستهبندی تراشهها را برطرف میکند: خشککردن یکنواخت پس از تمیزکاری، خشککردن پایدار برای فرآیندهای لیتوگرافی، و کنترل دمایی در تمام مراحل تولید. یکنواختی دما باعث کاهش نقصهای فوتورزیست و اثرات ناخواسته میشود؛ این امر فرآیندهای تأیید کیفیت را کوتاهتر کرده و میزان مواد اضافی تولید شده را کاهش میدهد.
مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا فرستندههای انرژی به سرعت دما را تنظیم کرده و آن را در محدوده مشخصی نگه میدارند. قابلیت اطمینان این هیتر در شرایط کار ۲۴ ساعته نیز ثابت شده است؛ بدون هیچ توقف غیرمنتظرهای.
چه چیزهایی را باید از قبل بدانید؟
برای نصب این هیتر، باید رابط اتصال آن را با سیستم مربوطه تطبیق داد و ولتاژ و مشخصات کانکتورها را بررسی کرد. این هیتر میتواند در ایستگاههای استاندارد نصب شود؛ اما همچنان نیاز به فضای کافی در اطراف منطقه فرستندهها برای جریان هوا و کنترل ذرات وجود دارد.
همچنین باید به طور دورهای این هیتر را کالیبره کنید تا یکنواختی دما در حدود ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ شود. این کار بخشی از رویههای استاندارد فرآیند تولید است.