Stoppen Sie den „Glasregen“: Halten Sie Ihre Wafer während des IR-Trocknens sauber
In der Produktion von MEMS-Sensoren ist ein defekter Infrarotstrahler ein Albtraum. Es handelt sich dabei nicht einfach um einen kaputten Schalter – es ist eine Katastrophe.
Stellen Sie sich vor, ein Quarzrohr bricht unter hohem Druck. Plötzlich fallen Glasstücke und Wolframfäden direkt auf Ihre Wafer herab. Mit einem einzigen Knall ist bereits eine ganze Charge ruiniert. Danach muss die gesamte Kammer auseinandergebaut werden, um das Chaos zu beseitigen.
Warum versagen diese Lampen eigentlich?
Meistens liegt es an thermischen Schocks oder an mehreren Hotspots. Wenn sich das Glas ungleichmäßig ausdehnt, bricht es. So einfach ist das.
Wir lösen dieses Problem, indem wir Hochreinquarz verwenden, der mit schnellen Spannungsschwankungen umgehen kann. Außerdem achten wir sehr darauf, dass die Fäden richtig zentriert sind und dass die Kammer richtig gefüllt ist. Warum? Weil dadurch die Wärme gleichmäßig über die Wand des Rohres verteilt wird. Wenn die Wärme gleichmäßig verteilt ist, bleibt das Glas intakt.
Eine Sicherheitsmaßnahme zusätzlich
Wir verlassen uns nicht nur darauf, dass das Quarzmaterial standhält. Das ist ein Risiko, das man nicht eingehen sollte.
Stattdessen verwenden wir spezielle Schutzmaßnahmen. Wir nutzen spezielle Hülsen und beschichtete Barrieren, die wie Schilde fungieren. Wenn eine Lampe defekt geht, bleiben die Bruchstücke innerhalb des Gehäuses gefangen – sie gelangen nicht auf Ihre Sensoren.
Wir achten auch sehr auf die Anschlüsse. Lockerer Sitz führt zu elektrischen Entladungen, und diese wiederum erzeugen Metallstaub. Das ist wiederum eine weitere Möglichkeit, Ihre Wafer zu verschmutzen. Wir stellen sicher, dass die Anschlüsse fest sitzen und dass die Materialien der Spannung Ihres Systems standhalten können.
Das Gleichgewicht finden
Bei der Hochleistungs-IR-Heizung geht es immer um Kompromisse.
Wenn Sie schnellere Trocknungzeiten möchten, brauchen Sie mehr Leistung in demselben Raum. Doch mehr Leistung bedeutet auch mehr Belastung für das Quarzmaterial.
Wenn Sie auf die hohe Leistung setzen, um die Durchlaufzeit zu verkürzen, müssen Sie sicherstellen, dass die Kühlströmung perfekt eingestellt ist. Wenn die Enden des Rohres nicht kühl genug bleiben, versagen die Dichtungen viel zu früh.
Wir liefern die Wärme – doch die thermische Steuerung Ihres Systems entscheidet letztendlich darüber, wie lange die Lampe funktioniert.