Wie man seine Vakuumpumpen wirklich sauber hält
Wenn man in einem Reinraum der Klasse 100 arbeitet, ist schon der kleinste Fehler katastrophal. Ein winziger Staubkorn oder etwas Chemikalie, das während eines Erwärmungsprozesses ausgetreten ist, kann dazu führen, dass die Wafer zerstört werden.
Die meisten herkömmlichen Heizelemente eignen sich dafür nicht. Sie geben Bindemittel ab oder oxidieren – das bedeutet im Grunde, dass sie Schadstoffe direkt auf das Substrat bringen. Deshalb verwenden wir für unsere Vakuum-Infrarotlampen hochreinen synthetischen Quarz. Dieser bleibt einfach sauber.
Das Problem mit dem Ausdünsten von Stoffen
Wir verwenden gefügten Siliziumquarz – er reagiert nicht negativ, wenn es heiß wird. Im Gegensatz zu normalem Glas zerfällt er nicht und gibt keine störenden flüchtigen organischen Verbindungen ab.
Im Vakuum ist ein mikroskopisch kleines Partikel kein „Staub“ – es handelt sich dabei um einen Defekt. Indem wir die Verunreinigungen im Quarz entfernen, stellen wir sicher, dass keine Kohlenstoff- oder Metallstoffe in den Prozess gelangen.
Leistung und Wärme
Da Infrarotstrahlung kein Medium zum Übertragen benötigt, eignet sie sich perfekt für Vakuumumgebungen. Wir haben diese Lampen so konzipiert, dass sie eine hohe Leistungsdichte aufweisen – dadurch kann die Wärme schnell erhöht werden. Die Energie gelangt direkt auf das Werkstück, was gut ist, denn so werden die Wände des Reinraums nicht mit unnötiger Wärme belastet.
Achtung: Hochleistungslichtbirnen sparen zwar Zeit, doch sie belasten die Vakuumdichtungen stark. Stellen Sie sicher, dass die Dichtungen der lokalen thermischen Ausdehnung standhalten, damit die Dichtigkeit erhalten bleibt.
Montage
Wir halten die Anschlüsse standardisiert. Man kann die Lampen einfach einsetzen, ohne den gesamten Aufbau neu verdrahten zu müssen – das erspart viele Probleme. Zudem polieren wir den Quarz bis zu einem hohen Grad. Dadurch entstehen keine „heißen Punkte“, die normalerweise dazu führen, dass eine Lampe vorzeitig kaputtgeht.
Wenn Sie ein System mit hohem Vakuum betreiben, überprüfen Sie unbedingt Ihren Kühlkreislauf. Diese Lampen liefern eine enorme Menge an Energie – die Enden können so heiß werden, dass billige Kabel schmelzen. Verwenden Sie daher Kabel mit hohen Temperaturen, damit es nicht zu Kurzschlüssen kommt.