Modul klimatizace a topení Fab
Na lince o délce 300 mm je lithografická část opravdu klíčová – bez ní nemůže proces proběhnout správně. Pokud se teplota v ohřívači AHU mění, změní...
Modul infračerveného topení s členěnými zónami
V prostorách výroby nejsou procesy měkkého a tvrdého sušení pouze kroky spojenými s teplotou – jedná se také o kroky spojené s tolerancemi. Odchylka...