Ohřev pomocí IR záření oproti ohřevu pomocí nuceného proudění vzduchu: Který způsob je pro váš výrobní proces skutečně vhodný?
Pokud stále používáte k hluboké obróbce polovodičů metodu cirkulace horkého vzduchu, pravděpodobně trávíte příliš mnoho času čekáním. Zamyslete se nad tím. Při použití nuceného proudění vzduchu se v podstatě snažíte vyhřát celou místnost jen proto, abyste dosáhli správné teploty na tenkém destičkovém materiálu. Je to pomalé a neefektivní. Existuje také ten nepříjemný problém zpoždění – musíte prostě čekat, až se teplota dostane na požadovanou úroveň. Ohřev pomocí IR záření je úplně jiný přístup. Vůbec nezajímá vzduch kolem – energie je přenášena přímo na povrch materiálu. Je to rychlé. Opravdu rychlé. A to změnuje všechno ve vašem pracovním procesu. Místo toho, abyste čekali minuty, než se vše ohřeje – a potom řešili problémy spojené s nadměrným zvyšováním teploty – IR záření dosáhne požadované teploty během sekund. Když máte takovou kontrolu, přestanete se starat o difúzi dopantů nebo o deformaci destiček. Prostě dokončíte práci. Ale nemůžete prostě umístit vysokovýkonovou lampu do výrobního prostoru a už se o ni nestarat. Filament lampy se rychle poškodí. A tam přichází na scénu chránič z křemičitého skla. Používáme vysoce čisté křemičité sklo, protože je prakticky neprůhledné pro krátkovlnné IR záření. Teplecká energie projde sklem, ale lampa zůstane v bezpečí, daleko od chaotického prostředí výrobního procesu. Je tu však jeden problém: tyto chrániče jsou vystaveny velkým napětím. Během okamžiku se z chladných stanou extrémně horkými. Pokud použijete špatný typ křemičitého skla – takové, které nevydrží tepelné roztažení – prostě se roztrhne. Je to jednoduché. Neříkám tedy, že IR záření je „kouzelná hůlka“. Má své nedostatky. Jelikož je záření směrové, musíte pečlivě zvolit místo umístění lamp. I malá odchylka v milimetrech může vést k vzniku „horkých míst“ na destičce, což je opravdu problém. Musíte správně nastavit geometrii reflektorů a vzdálenost chráničů, abyste dosáhli rovnoměrného ohřevu. Navíc budete potřebovat chladicí systém, který dokáže zvládnout tu lokální zahřátí – jinak se vaše zařízení deformuje. Vyžaduje to trochu více plánování na začátku, ale rychlost, kterou získáte, je opravdu velkým přínosem.