Na linii 300 mm vypadá pec stabilně, ale profil fotorezisty se po měkkém zahřívání stále mění. To způsobuje odchylky v šířce čáry během procesu leptání. Příčinou je nevyrovnané tepelné zatížení na celé ploše waferu.
Většinou je viníkem lampa v sušičce – její prvky se opotřebovávají, výkon se mění a dochází k „horkým místům“, které kontrolér prostě nemůže kompenzovat.
Co je v praxi důležité Lampa v sušičce DNS používá emitory krátkovlnného infračerveného záření umístěné v křemíkovém celku. To umožňuje rychlé a přímé zahřívání s rovnoměrností na úrovni waferu v rozsahu ±0,1 °C.
Výkon lampy zůstává konstantní i po tisících cyklech zahřívání, takže měkké zahřívání dodržuje specifikace v úzkých mezích, zatímco výkon při tvrdém zahřívání zůstává stabilní.
Lampa je určena pro čisté prostory třídy 1–100. Celá sestava je navržena tak, aby nevznikaly žádné částice. Povrchy a součásti jsou vybrány tak, aby minimálně vylučovaly nečistoty.
Výkon lampy zůstává stabilní po dobu více než 5 000 hodin, s odchylkou intenzity menší než 5 % – to znamená méně potřeby oprav a výměny spotřebních materiálů.
Proč je to důležité v litografii Měkké a tvrdé zahřívání ovlivňují obsah rozpouštědel ve fotorezistu, jeho přilnavost a kontrolu rozměrů. Když se tepelný cyklus opakuje u každé série výrobků, snižuje se množství odpadků způsobených nerovnoměrností během zahřívání.
Vyšší rovnoměrnost znamená méně práce po leptání, vyšší výnos a změny parametrů v rámci procesních limitů.
Rychlá tepelná reakce také snižuje spotřebu energie na jeden cyklus zahřívání. Dlouhá životnost emitorů zase minimalizuje neočekávané prostojování.
Co je potřeba udělat hned na začátku Instalace spočívá v dostavení lampy do vhodné polohy v sušičce a v zajistění správné optické cesty. Nejdřív ověříme typ konektoru, napětí a prostředky pro chlazení.
Lampa musí fungovat v určeném teplotním rozsahu. Pokud se tento rozsah překročí, životnost emitorů se zkrátí.
Je také potřeba dodržovat plánované údržby pro zarovnání lampy a čištění reflektorů – jinak nebudete mít tu rovnoměrnost, na kterou spoléháte.