Na výrobní lince není vytvrzování polyimidu pouze dalším tepelným krokem. Je to záruka rozměrové stability. Posunout teplotu jen o několik stupňů...

Na lithografické hale rychle pochopíte, že měkké předpečení s odchylkou půl stupně mění rozpočet kritických rozměrů (CD) a nerovnoměrné tvrdé...

Na výrobní ploše znáte proceduru. Posun teploty ±0,5°C během vypalování fotoresistu stačí k vyřazení celé série 500 waferů. Potřebujete teplo přesně...