シャードの発生を防ぐ：ウェーハをヒーターの故障から守る方法
大量生産型の半導体工場において、赤外線ランプが破損すると、それは大きな問題となります。単に停止時間や煩わしい清掃作業だけの問題ではありません。破損したランプからはガラスの破片やハロゲンガスが飛び散り、作業中のウェーハが損傷してしまいます。一度破損すれば、そのバッチ全体が無駄になってしまいます。だからこそ、私たちはクリーンルーム用のヒーターを開発し、このような故障が起きる前にそれを防ごうとしたのです。
熱に対処する方法
ほとんどのランプは、局所的な過熱や、繰り返される加熱・冷却によって壊れてしまいます。これに対処するため、私たちは高純度で厚壁の融着石英を使用しています。これにより、高い出力でも圧力に耐えられます。
しかし、それだけではありません。私たちは保護用のカバーも追加しました。これはまるで保険のようなものです。もし主要な加熱要素が壊れても、このカバーが破片を受け止めてくれます。そうすれば、ガラスの破片はヒーターの内部に留まり、ウェーハには届かないのです。
接続部分の問題
よく見過ごされがちなのが、端子の問題です。管の端でアークが発生すると、それが静かな破壊要因となります。接続部が緩んでいると、端に高温が発生し、石英が破損してしまいます。
私たちは精密に加工された電極やロック式の接続部品を使用して、すべてがしっかりと接続されているようにしています。ただし、オーバークロックしようとしないでください。出力を限度以上に上げると、シール部分が破損してしまいます。電源の出力をランプの抵抗に合わせて調整すれば、問題ありません。
妥協点
確かに、短時間で加熱を完了させるためには高密度の熱が必要です。しかし、それにはハードウェアに大きな負担がかかります。
私たちの安全装置によって床面は安全になりますが、少し欠点もあります。つまり、カバーが赤外線の一部を吸収してしまうのです。その結果、温度が少し下がることがあります。ただし、これは簡単に解決できます。保持時間を数秒増やせば、速度と安全性の両方を得ることができます。