Su una linea da 300 mm, la sala di litografia rappresenta il cuore del sistema. Se il riscaldatore presente nell’AHU si sposta, anche il profilo termico cambia – e questo comporta una diminuzione della qualità dei prodotti, molto prima che lo strumento di rilevamento dei difetti possa segnalare eventuali problemi. Abbiamo progettato il nostro modulo di riscaldamento per mantenere costante il campo termico proprio laddove è fondamentale: direttamente sul wafer.
Cosa è importante
Riusciamo a mantenere una uniformità termica di ±0,1°C lungo tutto il flusso d’aria, in modo che la piastra di essiccazione riceva condizioni di ingresso costanti. Il modulo funziona in ambienti puliti di classe 1–100, senza alcuna generazione di particelle, come confermato dal monitoraggio in tempo reale delle particelle presenti nell’aria. Il riscaldatore utilizza materiali con bassa emissione di gas e un percorso termico sigillato, in modo da evitare contaminazioni durante i processi di essiccazione. La potenza di output è sufficiente per funzionamenti 24/7, con velocità di regolazione controllate; inoltre, il modulo può essere integrato nei circuiti di controllo esistenti tramite interfacce industriali standard.
Il processo di essiccazione del fotorest non è certo un passaggio semplice: si tratta infatti di un processo delicato legato alle dimensioni dei componenti. Anche piccole variazioni di temperatura possono causare problemi significativi. Manteniamo quindi la temperatura alla giusta livello sul piano del wafer, in modo che il processo di essiccazione proceda in modo uniforme da lotto a lotto. In questo modo si ottiene un controllo migliore delle dimensioni dei componenti, meno riparazioni necessarie e un bilancio termico prevedibile. Inoltre, l’efficienza aumenta, poiché non viene sprecata energia per cicli di correzione errati.
Durante l’installazione è necessario prestare attenzione alla direzione del flusso d’aria e alle tolleranze di pressione statica dell’AHU; eventuali disallineamenti nei conduttori possono creare micro-turbolenze che compromettono l’uniformità del campo termico. Il modulo richiede inoltre un’alimentazione elettrica pulita: le fluttuazioni di tensione possono causare variazioni temporanee della temperatura. È quindi importante pianificare correttamente il periodo di collaudo, tenendo conto delle caratteristiche specifiche del fotorest utilizzato.