आईआर विधि से वेफरों को गर्म करते समय चीजों को सुरक्षित रखना आवश्यक है।
ईमानदारी से कहें तो, उच्च तापमान वाले इन्फ्रारेड लैंपों को ज्वलनशील घोलों के साथ इस्तेमाल करना बहुत ही खतरनाक है। जब वेफरों की रासायनिक सफाई हो रही होती है, तो ऐसी स्थिति में विस्फोटक वाष्पों के आसपास कोई आग लगने वाला स्रोत होना बिल्कुल भी अच्छा नहीं है।
हमने इस समस्या को हल करने का एक बेहतर तरीका खोजा है। खुले लैंपों के बजाय, हम उन्हें विशेष कवरों में रखते हैं।
“सही स्थान” ढूँढना
लैंपों को कहाँ रखना है, इस बारे में संतुलन बनाना आवश्यक है। यदि लैंपों को बहुत नजदीक रखा जाए, तो वेफरों पर “गर्म बिंदु” बन जाते हैं… यह अच्छा नहीं है। लेकिन यदि लैंपों को बहुत दूर रखा जाए, तो ऊष्मा दक्षता कम हो जाती है, और प्रक्रिया में देरी हो जाती है।
इस समस्या को हल करने हेतु, हम गर्मी उत्पन्न करने वाले तत्वों को नीलम या रासायनिक रूप से प्रतिरोधी क्वार्ट्ज से बने कवरों में रखते हैं। यह एक तरह की भौतिक सुरक्षा परत है… यह लैंप की विद्युत ऊर्जा को आसपास की हवा से दूर रखती है… इससे रासायनिक लीकेज होने पर भी आग नहीं लगेगी।
दीर्घकालिक उपयोग
यहाँ स्थिरता ही सब कुछ है। हम ऐसे क्वार्ट्ज का उपयोग करते हैं जो ऊष्मा-झटकों का सामना कर सकें… क्योंकि ऐसी स्थिति में सस्ते लैंप टूट जाते हैं। इसके अलावा, यह कवर नमी एवं अन्य हानिकारक गैसों को भी रोकता है… आमतौर पर लैंप ऐसी ही स्थितियों में खराब हो जाते हैं… लेकिन यह डिज़ाइन ऐसी स्थितियों को रोकता है।
एक नुकसान
लेकिन एक नुकसान भी है… चूँकि हमने ऐसी सुरक्षात्मक परतें जोड़ी हैं, इसलिए थोड़ी ऊष्मा बर्बाद हो जाती है… लेकिन यह परत ऊर्जा का एक हिस्सा अवशोषित कर लेती है… इसलिए यदि आप अपनी प्रक्रिया की गति को बनाए रखना चाहते हैं, तो आपको अपने पावर सप्लाई को समायोजित करना होगा।
एक और बात… एयरफ्लो को भी ध्यान में रखना आवश्यक है… ऐसे सील्ड लैंपों के बावजूद भी, आपको अपनी एक्सहॉस्ट सिस्टम को ठीक से काम करना ही होगा… ताकि घोलों का स्तर “निचली विस्फोटक सीमा” से नीचे ही रहे। सुरक्षा हमेशा सर्वोपरि है।