अपनी वेफर क्योरिंग प्रणाली को “ओवन” में बदलने से रोकें
आईआर लैंपों की समस्या यह है कि वे हर दिशा में ऊष्मा उत्सर्जित करते हैं… 360 डिग्री में।
सेमीकंडक्टर उपकरणों में, वह ऊष्मा जो वेफर तक नहीं पहुँचती, व्यर्थ ही जाती है। लेकिन इससे भी बुरी बात यह है कि वह अतिरिक्त ऊर्जा कहीं और जाने के बजाय मशीन की आंतरिक दीवारों पर ही टकर जाती है। हमने कई ऐसे मामले देखे हैं, जिनमें मशीन का आवरण इतना गर्म हो जाता है कि यह एक खतरा बन जाता है। ऐसा तो पेशेवर कार्यस्थल पर होना ही नहीं चाहिए।
ऊष्मा को सही जगह पर भेजना
हम इस समस्या का समाधान प्रिसिजन रिफ्लेक्टरों का उपयोग करके करते हैं। ऊष्मा को हर दिशा में फैलने देने के बजाय, रिफ्लेक्टर उस ऊर्जा को एक केंद्रित किरण में बदल देता है, जो सीधे वेफर पर पड़ती है। इससे ऊर्जा ठीक उसी जगह पर केंद्रित हो जाती है, जहाँ उसकी आवश्यकता है। चूँकि अब ऊर्जा मशीन की आंतरिक दीवारों पर नहीं पड़ती, इसलिए वे ठंडी ही रहती हैं। ऐसे में ऑपरेटर बिना किसी चिंता के मशीन के बाहरी हिस्सों को छू सकते हैं।
सही सामग्री का चयन
हम आमतौर पर उच्च शुद्धता वाले एल्यूमीनियम या सोने से ढके हुए सामग्रियों का ही उपयोग करते हैं। लंबी तरंगदैर्घ्य वाले आईआर लैंपों के लिए सोना ही सबसे अच्छा विकल्प है… क्योंकि यह अधिक ऊर्जा को परावर्तित करता है, एवं गर्मी के कारण ऑक्सीकृत भी नहीं होता।
यदि आप उच्च-वाटेज वाले लैंपों का उपयोग कर रहे हैं, तो रिफ्लेक्टर पर भी बहुत दबाव पड़ता है। हम ऐसी सामग्रियों का ही उपयोग करते हैं, जो इस तरह के तापीय दबाव को सह सकें… क्योंकि यदि रिफ्लेक्टर मुड़ जाए, तो ऊर्जा का केंद्र भी बदल जाएगा… जिससे वेफर पर असमान रूप से ही ऊष्मा पड़ेगी… जिसे ठीक करना बहुत मुश्किल है।
खामियाँ
ऊष्मा को केंद्रित करने से सुरक्षा संबंधी समस्याएँ तो दूर हो जाती हैं… लेकिन इससे वेफर पर भी बहुत दबाव पड़ता है।
आपको पता चलेगा कि वेफर को गर्म करने में समय कम ही लगेगा… लेकिन इसका एक नुकसान यह है कि यदि PID लूप उस अतिरिक्त ऊर्जा को संभालने में सक्षम न हो, तो आपका तापमान लक्ष्य से अधिक हो सकता है।
आपको अपने सेंसरों की कैलिब्रेशन भी ध्यान से जाँचनी होगी… ताकि वे केंद्रित ऊर्जा को सह सकें। साथ ही, अपने कूलिंग फैनों की भी जाँच करें… ताकि लैंपों के आसपास की अतिरिक्त ऊष्मा वहीं ही रहे।