लिथोग्राफी प्रक्रिया में, फोटोरेजिस्ट को गर्म करने के दौरान आधा डिग्री का अंतर भी कोई मामूली बात नहीं है। इसके कारण विद्युत परीक्षणों में समस्याएँ आती हैं, एवं कणों की संख्या में वृद्धि हो जाती है; जिसके कारण पुनर्कार्य की आवश्यकता पड़ती है। वेफर को गर्म करने हेतु आईआर तकनीक का उपयोग करते समय, केवल निर्धारित तापमान ही प्राप्त करना पर्याप्त नहीं है – बल्कि पूरे वेफर पर स्थिर एवं पुनरावर्ती तापमान ही आवश्यक है, ताकि कोई प्रदूषण न हो।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
हमने वेफर को गर्म करने हेतु आईआर सिस्टम को क्वार्ट्ज-सुदृढ़ीकृत मॉड्यूलों के साथ विकसित किया है; ताकि त्वरित प्रतिक्रिया एवं बेहतर ताप नियंत्रण संभव हो सके। 300 मिमी आकार के वेफर पर, तापमान को ±0.1°C के भीतर ही बनाए रखा जाता है, एवं प्रत्येक बार के प्रसंस्करण में तापमान में केवल कुछ मिलीडिग्री ही अंतर आता है। यह सिस्टम क्लास 1 से क्लास 100 तक के क्लीनरूमों में भी कार्य कर सकता है; क्योंकि इसमें कम गैस उत्सर्जन वाली सामग्रियों का उपयोग किया गया है, एवं कणों को नियंत्रित करने हेतु विशेष व्यवस्था भी है। “शून्य कण” होना कोई घोषणा नहीं है – बल्कि यह सतह की गुणवत्ता, सीलिंग प्रणाली, एवं ऐसी व्यवस्थाओं पर निर्भर है, जिससे फोटोरेजिस्ट के अवशेष पुनः न जम सकें।
फोटोरेजिस्ट प्रसंस्करण में क्या होता है?
फोटोरेजिस्ट प्रसंस्करण में, “सॉफ्ट बेक” के दौरान घोल हटाया जाता है, एवं फिल्म पर दबाव लगाया जाता है; जबकि “हार्ड बेक” के दौरान चित्र को एटचिंग हेतु तैयार किया जाता है। जब आईआर किरणें तेज़ी से लक्ष्य तक पहुँचती हैं, एवं स्थिर रहती हैं, तो चक्र समय में कमी आती है, एवं प्रोफाइल नियंत्रण भी बना रहता है।
बेहतर ताप नियंत्रण के फायदे
बेहतर ताप नियंत्रण के कारण पुनर्कार्य की आवश्यकता कम हो जाती है, उत्पादों की गुणवत्ता में सुधार होता है, एवं अतिरिक्त ऊर्जा की बचत होती है। यह सिस्टम 24/7 कार्य करता है, एवं नियमित रखरखाव के कारण अप्रत्याशित रुकावटें कम हो जाती हैं, एवं उत्पादन प्रक्रिया स्थिर रहती है।
उच्च-सटीकता वाले आईआर तापन प्रणाली
उच्च-सटीकता वाली आईआर तापन प्रणाली, फिल्मों एवं सब्सट्रेटों पर होने वाले विभिन्न तापमानों के प्रभावों के प्रति संवेदनशील है। प्रत्येक सब्सट्रेट के लिए लैंप की शक्ति एवं तापमान नियंत्रण प्रणाली को अनुकूलित करना आवश्यक है; साथ ही कोटर/ट्रैक इंटरफेसों के साथ इसका संरेखण भी आवश्यक है।
प्रारंभिक चरणों में समय लगता है…
निश्चित रूप से, प्रारंभिक चरणों में समय लगता है। लेकिन एक बार जब प्रक्रिया तैयार हो जाती है, तो लैंप के आउटपुट एवं तापमान की नियमित जाँच के द्वारा प्रक्रिया हमेशा निर्धारित मानकों के अनुरूप ही चलती रहती है।