دیگر انرژی خود را هدر ندهید!
وقتی که مشغول گرم کردن ویفرها هستید، استفاده از توان بیشتر راهحل مناسبی نیست. مسئله مربوط به میزان توانی نیست که در اختیار دارید؛ بلکه مربوط به جایی است که آن توان به آنجا میرود.
در اکثر مواقع، انرژی به دیوارههای محفظه سرازیر میشود؛ این کار اتلاف انرژی است. به همین دلیل از بازتابندههای پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم. به جای اینکه اجازه دهیم حرارت به همه جا پخش شود، ما آن را دوباره به سمت سطح ویفر هدایت میکنیم.
چرا طلا؟
فکر کنید به یک لامپ کوارتز معمولی؛ این لامپ انرژی را در تمام جهات، ۳۶۰ درجه، پخش میکند. در یک دستگاه گرمایشی، این بدان معناست که نیمی از انرژی، در همان لحظه تولید، از بین میرود.
ما این مشکل را با استفاده از لایه نازکی از طلا حل میکنیم. این کار صرفاً برای زیبایی نیست؛ طلا دارای بازتابپذیری بسیار پایینی در طیف مادون قرمز است. میزان بازتاب، بیش از ۹۸ درصد است؛ یعنی تقریباً تمام واتهای انرژی تولید شده، به صورت تشعشعات متمرکز بازتاب داده میشود.
دستیابی به دمای مناسب
جادوی واقعی در شکل بازتابنده نهفته است؛ با تغییر این شکل، میتوانیم جریان حرارتی را دقیقاً به جایی که نیاز است، هدایت کنیم.
این موضوع برای سرعت رسیدن به دمای مطلوب بسیار مهم است؛ شما میتوانید به سرعت به دمای مورد نظر برسید، بدون اینکه دچار افزایش ناگهانی دما شوید. همچنین، پروفایل حرارتی یکنواختی در سراسر سطح وجود دارد؛ یعنی دیگر هیچ «نقاط گرم»ی وجود ندارد که باعث خراب شدن ویفرها شود.
چند نکته مهم
نکته مهم این است که وقتی حرارت را به این شکل متمرکز میکنیم، تراکم انرژی افزایش مییابد. بنابراین باید مطمئن شوید که سیستم خنککننده شما میتواند گرمای اضافی را مدیریت کند. اگر جریان هوا ضعیف باشد، پوشش طلا ممکن است در اثر گرمای محیطی خراب شود. حتماً به سطح بازتابنده توجه کنید؛ اگر رنگ آن تغییر کرد، یعنی اکسیداسیون یا کثیفی وجود دارد؛ در این صورت بازدهی دستگاه کاهش خواهد یافت.
نصب دستگاه در سیستم شما
بهترین بخش این است که این دستگاهها به راحتی میتوانند جایگزین دستگاههای گرمایشی IR قدیمی شوند. شما میتوانید از همان منابع توانی که قبلاً استفاده میکردید، استفاده کنید. اما وقتی که این دستگاهها راهاندازی شوند، متوجه خواهید شد که مصرف کلی انرژی کاهش مییابد، در حالی که ویفرها همچنان به همان دماها میرسند.
این در واقع به این معناست که انرژیای که پول آن را پرداختهاید، بالاخره مورد استفاده قرار میگیرد.