در فرآیند ساخت تراشهها، تغییر دمای ۲ درجه سانتیگراد در حین پختن فوتورزیست، میتواند باعث تغییر ابعاد کلیدی تراشه شده و منجر به از بین رفتن کل محموله تولید شود. شما نیازی به منبع گرمایی ندارید که دما را به طور تصادفی تغییر دهد؛ بلکه به منبعی نیاز دارید که دما را در حد مشخصی نگه دارد. لامپ هالوژنی کوارتزی که ما استفاده میکنیم، امکان کنترل دقیق دما را در نقاط مهم فراهم میکند؛ یعنی در جاهایی که وضعیت ویفر، فوتورزیست و کیفیت تراشه به شدت تحت تأثیر دما قرار دارد.
از نظر فنی، چه چیزهایی اهمیت دارد؟
ما از لامپهای کوارتزی با پر کردن حفرههای آنها با ماده هالوژنی استفاده میکنیم؛ این کار باعث میشود خروجی گرمایی سریع و پایداری داشته باشد. این امر منجر به پاسخ سریع گرمایی و یکنواختی بالای دما در سطح ویفر میشود؛ درست همان چیزی که در شرایطی که بودجه گرمایی محدود است، ضروری است. خروجی گرمایی این لامپها در طول زمان پایدار میماند؛ لامپهایی که ما استفاده میکنیم، بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت کار کردهاند و کاهش شدت نور آنها کمتر از ۵٪ بوده است. اندازه این لامپها نیز با ابزارهای مورد استفاده برای پوشاندن و پختن سطح ویفر سازگار است؛ همچنین پایهها و اتصالات آنها استاندارد هستند، بنابراین میتوان آنها را بدون مشکل در ابزارهای موجود استفاده کرد.
چرا این روش در فرآیند لیتوگرافی مؤثر است؟
فوتورزیست نیاز به دمای ثابتی دارد تا ویسکوزیته، چسبندگی و صافی لبههای خطوط مناسب باشد. با استفاده از این لامپها، دما در محدوده مشخصی نگه میشود؛ بنابراین تغییرات درون محموله تولید کاهش مییابد و کنترل ابعاد کلیدی تراشه نیز پایدار میماند. این لامپها با محیطهای تمیز کلاس ۱ تا ۱۰۰ سازگار هستند و تقریباً هیچ ذره آلایندهای تولید نمیکنند؛ بنابراین نیازی به مقابله با آلودگیها نیست. قابلیت اطمینان این لامپها باعث کاهش توقفهای غیرمنتظره و کاهش نیاز به قطعات یدکی میشود؛ همچنین، پروفایل تابشی این لامپها به گونهای است که مصرف انرژی کم باشد، بدون اینکه دقت کار کاهش یابد.
جزئیات عملیاتی:
نصب این لامپها ساده است، اما مسئله مهم، هماهنگ کردن آنها با سطح ویفر است؛ اگر لامپها به درستی هماهنگ نشوند، یکنواختی دما کاهش مییابد. قبل از شروع کار، باید ولتاژ، نوع اتصالات و جریان هوای خنککننده ابزار را بررسی کنید. این لامپها دمای بالایی تولید میکنند؛ بنابراین نیاز به جریان هوای کافی برای حفظ پایداری دما وجود دارد. تعویض لامپها را در زمانهای مشخصی انجام دهید و لامپهای یدکی را نیز در دسترس داشته باشید تا کارایی نوری ابزار کاهش نیابد.