در خط تولید، فرآیندهای پخت نرم و سخت، صرفاً مربوط به میزان دما نیستند؛ بلکه مربوط به محدودههای تحمل دما نیز هستند. اختلاف ۱ درجه سانتیگراد در دما، میتواند منجر به کاهش کیفیت محصول شود؛ همچنین، نقاط دارای دمای بالا میتوانند باعث از بین رفتن محصول شوند. به همین دلیل، ما ماژولهای گرمایشی مادون قرمز را طراحی کردهایم تا از احتمالات ناشی از تغییرات دما جلوگیری شود.
از نظر فنی، چه چیزهایی اهمیت دارند؟
ما از فرستندههای مادون قرمز با پاسخگویی سریع استفاده میکنیم؛ بنابراین گرما در همان جایی که میخواهیم، و در همان زمانی که میخواهیم، تأمین میشود. این ماژول به بخشهای مستقلی تقسیم شده است؛ بنابراین میتوانیم دمای هر بخش را جداگانه تنظیم کنیم. در عمل، این روش باعث میشود که یکنواختی دما در سطح ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باشد؛ همچنین، پروفایلهای گرمایشی نیز در هر چرخه، در محدوده ±۰.۵ درجه سانتیگراد باقی میمانند. استفاده از مواد بدون کوارتز و موادی با انتشار گاز کم، از تولید ذرات در روی ویفر جلوگیری میکند؛ که این همان چیزی است که برای عملکرد در اتاقهای تمیز کلاس ۱ تا ۱۰۰ لازم است.
چرا این سیستم در خطوط لیتوگرافی مؤثر است؟
شما نمیتوانید توقفات غیرمنتظره را تحمل کنید. این ماژولهای گرمایشی مادون قرمز، ۷ روز در هفته و ۲۴ ساعت در روز کار میکنند، بدون هیچ توقف غیرمنتظرهای؛ همچنین، سیستم گرمایشی طوری طراحی شده که عمر آن بیش از ۱۰٬۰۰۰ ساعت باشد. این سیستم ساده، ماژولار و قابل کنترل در سطح بخشهای مختلف است.
مزایای این سیستم چیست؟
شما میتوانید دما را سریعتر به مقدار مورد نظر برسانید؛ همچنین، یکنواختی دما در هر باتچ بالاتر خواهد بود؛ و تعداد ویفرهای از کار افتاده نیز کمتر خواهد شد. مصرف انرژی نیز کاهش خواهد یافت؛ زیرا کنترل ماژولاری از گرم شدن کل سیستم جلوگیری میکند.
چند نکته برای برنامهریزی:
برای نصب این سیستم، به یک مدار برقی مخصوص و جریان هوای تمیز و خنک برای حفظ ثبات دمای فرستندهها نیاز است. این ماژول به راحتی با سیستمهای گرمایشی موجود سازگار میشود؛ اما برای بهرهبرداری کامل، باید از روشهایی استفاده کرد که از کمپنساسیون دمایی برای کنترل نواحی مختلف استفاده کنند.
یک محدودیت وجود دارد: تعداد بخشهای قابل کنترل، برای هر فریم ثابت است؛ بنابراین باید بخشها را از قبل تنظیم کنید تا با اندازه ویفرها و نیازهای کنترل نواحی مختلف، سازگار باشد.