Trong quy trình sản xuất, ngưỡng nhiệt độ là một giới hạn không thể vượt qua. Sau khi tiến hành quá trình chiếu xạ, cần phải đạt được nhiệt độ kích hoạt một cách chính xác. Nếu không, điện trở suất của tấm wafer sẽ thay đổi, và tỷ lệ thành phẩm của thiết bị cũng sẽ giảm dần.
Các phương pháp gia nhiệt truyền thống gây ra sự biến đổi về nhiệt độ và khoảng thời gian cần thiết để đạt được nhiệt độ mong muốn. Do đó, khoảng thời gian thực hiện quy trình sẽ bị rút ngắn.
Những yếu tố quan trọng trong quy trình sản xuất
Chúng tôi sử dụng các bộ phát tia halogen tần số cao cùng thiết kế gia nhiệt dựa trên chất liệu thạch anh để kích hoạt chất phụ gia trong wafer. Năng lượng được truyền trực tiếp vào wafer một cách nhanh chóng và hiệu quả. Trên toàn bộ diện tích wafer 300 mm, độ đồng nhất về nhiệt độ được duy trì ở mức ±0,1°C. Điều này giúp đảm bảo tính ổn định của quy trình gia nhiệt từ giai đoạn đầu cho đến giai đoạn cuối.
Môi trường sản xuất loại 1–100 được áp dụng trong quy trình sản xuất: các vật liệu ít phát khí, các khe nối được niêm phong chặt chẽ, và việc tạo ra các hạt bụi bị loại bỏ hoàn toàn. Nhờ đó, số lượng hạt bụi trong quá trình in ấn và khắc vẫn được kiểm soát ở mức thấp. Hệ thống hoạt động 24/7 mà không có thời gian ngừng máy nào, và hệ thống điều khiển giúp duy trì nhiệt độ gia nhiệt ở mức chính xác hơn ±0,2°C, từ đó bảo vệ các kích thước quan trọng của wafer.
Tại sao điều này lại quan trọng trong quy trình sản xuất hàng loạt
Bạn cần sự ổn định trong quy trình sản xuất, ngay cả khi thay đổi loại wafer hay khối lượng sản xuất. Các bộ sưởi bằng tia hồng ngoại giúp rút ngắn thời gian thực hiện các bước gia nhiệt, đồng thời kiểm soát được áp lực nhiệt. Nhờ đó, các thông số liên quan đến lớp phim bảo vệ wafer vẫn được duy trì ổn định sau quá trình gia nhiệt.
Số lần sửa chữa giảm đi. Điện trở suất của tấm wafer được kiểm soát chặt chẽ hơn. Mức năng lượng tiêu thụ trên mỗi tấm wafer cũng giảm xuống. Trong quy trình sản xuất hàng loạt, điều này giúp tăng năng suất và giảm chi phí sản xuất.
Những điều cần lưu ý
Quá trình lắp đặt đòi hỏi sự căn chỉnh quang học chính xác và hệ thống thoát khí riêng biệt để duy trì áp suất ổn định trong môi trường sản xuất. Công suất của bộ sưởi cũng cần được điều chỉnh phù hợp với loại wafer và lớp phim cần xử lý.
Chúng tôi cung cấp các công thức cụ thể cho từng ứng dụng, nhưng bạn vẫn cần kiểm tra kỹ lưỡng các yếu tố liên quan đến loại chất phụ gia và quy trình xử lý. Một khi đã được calibrate, hệ thống sẽ hoạt động ổn định. Nhưng bước lắp đặt này là bắt buộc.