300 ملی میٹر کی لائن پر، لیتھوگرافی عمل کے لئے “لیتھوگرافی بے” بہت اہم ہے۔ اگر AHU ہیٹر کی حرارت میں تغیر آ جائے، تو بیک پروفائل بھی تبدیل ہو جاتا...

دیکھیں کہ 300 ملی میٹر والا ویفر ٹریک سے نیچے گرکر بیک ماڈیول میں داخل ہو رہا ہے۔ فوٹوریزسٹ کو مناسب درجہ حرارت پر پہنچنا ضروری ہے؛ یعنی ہر جگہ درجہ...