На етапі літографії навіть півградусна зміна температури під час обробки фотополімеру є серйозною проблемою. Це призводить до зниження якості продукції під час електричних випробувань, а також до появи домішок, які потрібно усувати під час повторної обробки. Нагрів ваферів за допомогою інфрачервоного випромінювання має забезпечувати не лише певний рівень температури, а й стабільне тепло по всій поверхні вафера, без утворення домішок.
Що є важливим? Ми створили систему інфрачервоного нагріву на основі короткохвильових галогенових випромінювачів, розміщених у модулях з кварцовими елементами. Це дозволяє досягти швидкої реакції та точного контролю температури. На ваферах діаметром 300 мм ми підтримуємо однорідність температури в межах ±0,1°C, а стабільність параметрів під час послідовних процедур залишається в межах кількох міліградусів. Камера придатна для використання в чистих приміщеннях класу від 1 до 100; використовуються матеріали з низьким рівнем викидів та системи контролю потоку повітря, які запобігають утворенню домішок. Відсутність домішок – це не просто слоган; це результат правильного оброблення поверхні, використання відповідних матеріалів та ефективної стратегії видалення побічних продуктів фотополімеру.
У процесі обробки фотополімеру первинне нагрівання сприяє видаленню розчинників та формуванню структури плівки, а друге нагрівання готує плівку до етапу етchingу. Якщо інфрачервоне випромінювання досягає цілі швидко та підтримується на стабільному рівні, можна скоротити час виконання процедури без втрати контролю над параметрами.
Більш точний контроль температури означає меншу кількість необхідних корекцій, більш стабільну якість продукції та меншу кількість витраченої енергії. Система працює 24/7 з передбачуваними інтервалами технічного обслуговування, що зменшує кількість непланових перерв та забезпечує стабільність роботи лінії.
Високоточний інфрачервоний нагрів є чутливим до різниць у емісії світла на різних поверхнях. Необхідно налаштовувати потужність ламп та профілі нагріву для кожної поверхні, а також переконуватися у правильній налаштованості системи.
Початкова налагодка займає час. Але як тільки параметри процесу будуть встановлені, процес буде працювати в заданих межах завдяки регулярній перевірці потужності ламп та температури.