На виробничій лінії термальний бюджет є жорсткою межею, яку не можна переступати. Після процедури імплантації необхідно досягти потрібної температури активації з точною контрольованою дисперсією. Якщо цього не досягти, опір плати змінюється, а щільність виготовлення пристроїв зменшується.
Традиційні методи нагріву призводять до зниження якості продукції та затримок у процесі виробництва. Час, необхідний для завершення процесу, значно скорочується.
Що є важливим у процесі виробництва
Ми розробили метод активації домішок з використанням короткохвильових галогенових випромінювачів та кварцової системи теплообміну. Енергія потрапляє безпосередньо на пластину швидко та ефективно. На повнорозмірній пластині розміром 300 мм ми підтримуємо однорідність температури в межах ±0,1°C. Це забезпечує стабільність термічних умов протягом усього процесу виробництва.
Умови чистої кімнати класу 1–100 є обов’язковими для забезпечення якості продукції: матеріали з низьким рівнем виділення газів, герметичні інтерфейси камери та відсутність частинок забезпечують стабільність параметрів під час процесів літографії та етchingу. Система працює 24/7 без перерв, а система керування забезпечує точний контроль температури – менше ±0,2°C. Це дозволяє зберегти критичні параметри продукції.
Чому це важливо для великомасштабного виробництва
Необхідна стабільність параметрів протягом усього процесу виробництва. Наші інфрачервоні нагрівачі скорочують час виконання процедур активації, водночас контролюючи термічне навантаження. Це забезпечує стабільність параметрів фотополімеру після процедур пом’якшення та жорсткого нагріву.
Кількість корекцій зменшується, дисперсія опору плати зменшується, а споживання енергії на одну пластину також знижується. Це означає можливість планування обсягів виробництва та зниження витрат на одиницю продукції.
На що потрібно звернути увагу
Під час встановлення необхідна точна оптична налаштування та наявність спеціальних систем відведення повітря для підтримки правильного тиску в чистій кімнаті. Напруга нагрівачів мусить бути налаштована відповідно до конкретної конструкції пластини та шарів матеріалу.
Ми надаємо рецепти, спеціально розроблені для конкретних застосувань, але все одно необхідно провести перевірку на різних типах матеріалів та процедурах термообработки. Після налаштування система є стабільною. Але цей крок є обов’язковим.