Aşağıda, “Kurutucu” sınıflandırma terimini kullanan sayfaları bulacaksınız. DNS (Ekran) wafer kurutucu lambası 300 mm hatlarında fırın oldukça stabil görünüyor; ancak yumuşak pişirme işleminden sonra fotorezist profili yine de değişiyor. Bu durum, aşındırma... Read more...
DNS (Ekran) wafer kurutucu lambası 300 mm hatlarında fırın oldukça stabil görünüyor; ancak yumuşak pişirme işleminden sonra fotorezist profili yine de değişiyor. Bu durum, aşındırma... Read more...