Wafer sistemlerinizdeki ısı kaybını durdurun
Silikon wafları ısıttığınızda her bir watt çok önemlidir. Sorun şu ki: standart paslanmaz çelik kaplamalar sanki sünger gibi davranır; çok fazla kızılötesi enerjiyi emerler. Bu da sadece enerji israfına yol açmakla kalmaz, aynı zamanda ekipmanın kendisini de devasa bir ısı yayıcısına dönüştürür.
Bunu çözmek için ısıtıcı kabının iç yüzeyini yüksek saflıkta altınla kapladık.
Neden altın?
Bu, görsel açıdan hoş görünmekle ilgili değil; altının kızılötesi radyasyonu nasıl ele aldığıyla ilgilidir. Kullandığınız halojen veya kuvars lambaları, altının geri yansıtmayı seven dalga boylarını yaymaktadır. Böylece kabuk yerine altın tabakası, bu fotonların %98’ini doğrudan waflara geri yansıtır. Böylece enerji tam da olması gereken yere gider.
Elbette bazı pratik hususlar da var. Bu kaplamaları yüksek kaliteli paslanmaz çelikten üretiyoruz ki, sıcaklık arttığında şekilleri bozulmasın. Altının dökülmemesi için ise onu vakum yöntemiyle yüzeye yerleştiriyoruz.
Ancak bir dezavantaj var: Altın oldukça seçici davranır. Eğer işlemde korozif gazlar kullanılıyorsa, kaplama bozulabilir. Bu durumda yansıtma özelliği düşer ve işlem süreleri uzar. Eğer sizin de durumunuz böyleyse, altını temiz tutmak için koruyucu bir kuvars kalkanı kullanın.
Bu yöntemin size sağladığı avantajlar
En büyük avantaj hızdır. Hedef sıcaklıklara çok daha hızlı ulaşılır. Bu da size iki seçenek sunar: Ya güç kaynağı üzerindeki baskıyı azaltmak için lambanın gücünü düşürebilirsiniz, ya da işlem süresini kısaltarak daha fazla wafer işleyebilirsiniz.
Bir ipucu: Kabloyu bağlarken PID kontrol cihazlarını ayarlamayı unutmayın. Sistem artık çok daha hızlı tepki veriyor; bu yüzden bunu göz önünde bulundurmalısınız. Ayrıca, ısı waflar üzerinde yoğunlaştığı için makinenin geri kalan kısmı daha soğuk kalır. Soğutma fanlarının o kadar çok çalışmasına gerek kalmaz; bu da herkes için bir avantajdır.