ในโรงงานผลิตชิป ค่าอุณหภูมิที่เหมาะสมถือเป็นขีดจำกัดที่ไม่สามารถข้ามได้เด็ดขาด หลังจากการฝังสารดอปแพนต์แล้ว จำเป็นต้องทำให้อุณหภูมิถึงระดับที่กำหนดไว้อย่างแม่นยำ หากไม่ทำเช่นนั้น ค่าความต้านทานของชิปก็จะเปลี่ยนแปลงไป และอัตราการผลิตชิปก็จะลดลง
วิธีการใช้แผ่นความร้อนแบบดั้งเดิมนั้นมีข้อเสียคือทำให้เกิดความไม่สม่ำเสมอในอุณหภูมิ และมีช่วงเวลาที่ใช้ในการปรับอุณหภูมิที่ยาวนาน ดังนั้นช่วงเวลาที่สามารถใช้ในการผลิตจึงลดลงอย่างรวดเร็ว
สิ่งที่สำคัญจริงๆ เราออกแบบกระบวนการกระตุ้นสารดอปแพนต์โดยใช้เครื่องปล่อยรังสีฮาโลเจนความยาวคลื่นสั้น ร่วมกับการออกแบบระบบความร้อนที่มีประสิทธิภาพ พลังงานจะถูกส่งเข้าสู่แผ่นชิปอย่างรวดเร็วและมีประสิทธิภาพ โดยเราสามารถรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิไว้ที่ ±0.1°C ตลอดทั้งแผ่นชิปขนาด 300 มม. ซึ่งช่วยให้อุณหภูมิคงที่ตั้งแต่ขั้นตอนการอบชิปในระดับอุณหภูมิต่ำไปจนถึงระดับอุณหภูมิสูง
ห้องปลอดภัยระดับ 1–100 ถูกออกแบบมาให้มีประสิทธิภาพสูง โดยใช้วัสดุที่มีการปล่อยก๊าซน้อย มีการป้องกันการรั่วไหลของก๊าซ และไม่มีการสร้างอนุภาคใดๆ ซึ่งช่วยให้จำนวนอนุภาคคงที่ตลอดกระบวนการผลิต ระบบนี้สามารถทำงานได้ตลอด 24/7 โดยไม่มีเวลาหยุดทำงานที่ไม่คาดคิด และระบบควบคุมอุณหภูมิสามารถรักษาอุณหภูมิไว้ที่ ±0.2°C ซึ่งช่วยให้มิติสำคัญของชิปคงที่
ทำไมวิธีนี้จึงเหมาะสำหรับการผลิตจำนวนมาก คุณจำเป็นต้องมีความสม่ำเสมอในกระบวนการผลิต เพื่อให้ได้ผลลัพธ์ที่แม่นยำ ไม่ว่าจะเป็นการผลิตแต่ละชุดหรือแต่ละล็อต เครื่องทำความร้อนแบบอินฟราเรดของเราช่วยลดเวลาที่ใช้ในการกระตุ้นสารดอปแพนต์ พร้อมทั้งช่วยควบคุมความเครียดทางอุณหภูมิ ทำให้ค่าความต้านทานของชิปคงที่ตลอดกระบวนการอบชิป
นอกจากนี้ ยังช่วยลดจำนวนการผลิตซ้ำ มีค่าความต้านทานที่สม่ำเสมอมากขึ้น และใช้พลังงานน้อยลงต่อแผ่นชิปหนึ่งแผ่น สำหรับการผลิตจำนวนมาก นั่นหมายถึงสามารถวางแผนการผลิตได้อย่างมีประสิทธิภาพ และมีต้นทุนต่อการผลิตที่ต่ำลง
สิ่งที่ต้องให้ความสำคัญ การติดตั้งระบบนี้ต้องมีการปรับแต่งอย่างแม่นยำ เพื่อให้เกิดความสม่ำเสมอในอุณหภูมิ และต้องมีระบบระบายอากาศที่ดี เพื่อรักษาความดันในห้องปลอดภัยให้คงที่ นอกจากนี้ ต้องมีการปรับแต่งกำลังไฟของเครื่องทำความร้อนให้เหมาะสมกับแผ่นชิปและฟิล์มที่ใช้ในการผลิต
เรามีสูตรการผลิตที่เหมาะสมกับแต่ละการใช้งาน แต่คุณยังต้องทดสอบคุณสมบัติของสารดอปแพนต์และกระบวนการอบชิปก่อน หลังจากปรับแต่งเสร็จแล้ว ระบบนี้ก็จะสามารถทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพ แต่ขั้นตอนการติดตั้งนั้นเป็นสิ่งที่จำเป็นอย่างยิ่ง