บนพื้นโรงงานผลิตแผง LCD การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิไม่ประกาศตัวเอง—มันเพียงแค่ค่อยๆ ลดผลผลิตลง หากอุณหภูมิผิดเพี้ยนแม้เพียงเล็กน้อยระหว่างการอบซอฟต์เบคหรือฮาร์ดเบค คุณจะก่อให้เกิดข้อผิดพลาดด้านมิติที่ตามไปตลอดสายการผลิตผ่านการถ่ายภาพ การกัดกร่อน และการเคลือบ เราออกแบบฮีตเตอร์อินฟราเรดของเราเพื่อลดการเปลี่ยนแปลงนี้ที่แหล่งกำเนิด
สิ่งที่สำคัญภายในระบบ
เราใช้เทคโนโลยีอินฟราเรดคลื่นสั้น ซึ่งทำให้การตอบสนองรวดเร็วและการกระจายความร้อนมีความสม่ำเสมอสูง นั่นคือสิ่งที่ทำให้คุณสามารถสร้างโปรไฟล์การอบที่ซ้ำได้ในพื้นผิวขนาดใหญ่ การควบคุมเป็นแบบปิดวงจร และจุดตั้งค่าจะอยู่ในขอบเขตที่เข้มงวดเพื่อให้สามารถควบคุมงบประมาณความร้อนได้ตามสเปค ฮีตเตอร์จะสะอาด—ไม่มีการปล่อยก๊าซ ไม่มีการระเบิดของอนุภาคเมื่ออุณหภูมิสูงขึ้น—ดังนั้นจึงเหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมระดับคลาส 1–100 โดยไม่ทำให้จำนวนอนุภาคพุ่งสูงขึ้น โครงสร้างทำจากวัสดุควอตซ์ออกแบบมาเพื่อให้มีอายุการใช้งานยาวนาน โดยมีผลผลิตที่คงที่ซึ่งยังคงอยู่ได้เป็นเวลาหลายพันชั่วโมง การติดตั้งทำได้ง่าย: การเชื่อมต่อไฟฟ้ามาตรฐานและการติดตั้งทางกลที่สะอาดซึ่งสามารถติดตั้งในห้องกระบวนการที่มีอยู่แล้ว
ทำไมสิ่งนี้จึงเหมาะสำหรับการผลิต LCD
ในการผลิตแผง คุณจำเป็นต้องมีความร้อนในที่ที่คุณต้องการ เมื่อคุณต้องการ โดยไม่มีความล่าช้าหรือจุดร้อน ฮีตเตอร์อินฟราเรดของเราจะนำพื้นผิวขึ้นถึงอุณหภูมิได้อย่างรวดเร็ว จากนั้นจะคงที่ ดังนั้นการอบซอฟต์เบคและฮาร์ดเบคจึงคงความสม่ำเสมอในแต่ละรอบ ความเสถียรนี้ช่วยลดข้อบกพร่องของฟิล์มโฟโตเรซิสต์ ปรับปรุงความแม่นยำในการซ้อนทับ และลดของเสีย นอกจากนี้ยังช่วยเพิ่มเวลาในการทำงาน: หน่วยจะเริ่มต้น ให้ความร้อน และตั้งตัวตามกำหนดเวลา ดังนั้นสายการผลิตจึงสามารถเคลื่อนที่ได้ต่อเนื่อง การใช้พลังงานก็ยังมีระเบียบ เพราะฮีตเตอร์จะมุ่งเป้าไปที่พื้นผิวโดยตรงแทนที่จะทำให้ห้องทั้งหมดร้อนขึ้น
รายละเอียดที่คุณควรวางแผน
การติดตั้งต้องมีเส้นสายตาที่ชัดเจนไปยังพื้นผิวและการแยกความร้อนที่เหมาะสมจากอุปกรณ์ใกล้เคียง มิฉะนั้นคุณจะเสี่ยงต่อการรบกวนในวงจรควบคุม การตั้งค่าใช้งานใช้เวลาสั้น—มีเวลาพอสมควรในการปรับโปรไฟล์ให้เหมาะกับการซ้อนทับและรอบเวลา หากคุณทำงานใกล้ช่วงอุณหภูมิสูงสุด ความเครียดจากความร้อนบนอีเมตเตอร์จะเพิ่มขึ้น; ควรตั้งช่วงเวลาการเปลี่ยนแปลงที่ป้องกันตามรอบการทำงานของคุณเพื่อให้ประสิทธิภาพยังคงคาดเดาได้