ในกระบวนการผลิตที่มีความยาว 300 มม. ตู้อบดูเหมือนจะมีความเสถียรดี แต่โปรไฟล์ของสารโฟโตเรซิสต์ก็ยังคงเปลี่ยนแปลงไปหลังจากการอบครั้งแรก ส่งผลให้ความกว้างของเส้นที่ได้มีความไม่สม่ำเสมอ และสาเหตุก็มาจากการกระจายความร้อนที่ไม่สม่ำเสมอบนแผ่นวีเวอร์นั่นเอง
โดยปกติแล้ว สาเหตุมักมาจากหลอดไฟในเครื่องอบ เนื่องจากองค์ประกอบของหลอดไฟเกิดการเสื่อมสภาพ ทำให้กำลังไฟที่ออกมาเปลี่ยนแปลงไป และยังมีจุดที่มีอุณหภูมิสูงเกินไป ซึ่งตัวควบคุมไม่สามารถแก้ไขได้
สิ่งที่สำคัญจริงๆ คืออะไร?
หลอดไฟในเครื่องอบชนิด DNS ใช้หลอดอินฟราเรดคลื่นสั้นที่อยู่ในโครงสร้างควอตซ์ ซึ่งช่วยให้เกิดการกระจายความร้อนอย่างรวดเร็วและสม่ำเสมอ โดยมีความคลาดเคลื่อนไม่เกิน ±0.1°C
กำลังไฟของหลอดไฟสามารถคงที่ได้ตลอดหลายพันครั้งของการอบ ดังนั้นการอบครั้งแรกจึงสามารถทำได้อย่างแม่นยำภายในขอบเขตที่กำหนด และการอบครั้งถัดไปก็จะยังคงอยู่ในเกณฑ์ที่กำหนดเช่นเดิม
เครื่องนี้ถูกออกแบบมาสำหรับห้องที่มีมาตรฐานความสะอาดระดับ Class 1–100 และโครงสร้างโดยรวมถูกออกแบบมาเพื่อให้ไม่มีอนุภาคใดๆ เกิดขึ้นเลย พื้นผิวและอุปกรณ์ต่างๆ ก็ถูกเลือกมาเพื่อให้ไม่มีฝุ่นเกาะ
กำลังไฟของหลอดไฟสามารถคงที่ได้ตลอด 5,000 ชั่วโมงขึ้นไป โดยมีความเปลี่ยนแปลงของกำลังไฟน้อยกว่า 5% ดังนั้นจึงต้องมีการตรวจสอบคุณภาพน้อยลง และไม่จำเป็นต้องเปลี่ยนอุปกรณ์บ่อยนัก
ทำไมสิ่งนี้ถึงสำคัญในกระบวนการลิโธกราฟี?
การอบแบบ “Soft Bake” และ “Hard Bake” มีบทบาทสำคัญในการควบคุมปริมาณสารละลายในสารโฟโตเรซิสต์ ความสามารถในการยึดเกาะของสารโฟโตเรซิสต์กับแผ่นวีเวอร์ และความสม่ำเสมอของขนาดแผ่นวีเวอร์ เมื่อกระบวนการอบทำซ้ำไปเรื่อยๆ ก็จะช่วยลดปริมาณวัสดุที่เสียหายจากความไม่สม่ำเสมอที่เกิดจากการอบ
ความสม่ำเสมอที่สูงขึ้นหมายถึงการต้องแก้ไขข้อผิดพลาดหลังการอบน้อยลง ทำให้มีอัตราการผลิตที่สูงขึ้น และการเปลี่ยนกระบวนการผลิตก็จะอยู่ภายในขอบเขตที่กำหนดเช่นเดิม
นอกจากนี้ การตอบสนองทางความร้อนที่รวดเร็วยังช่วยลดการใช้พลังงานในการอบ และอายุการใช้งานของหลอดไฟที่ยาวนานก็ช่วยลดเวลาที่เครื่องหยุดทำงานโดยไม่คาดคิดได้
สิ่งที่คุณต้องทำให้ถูกต้องตั้งแต่แรก
การติดตั้งหลอดไฟนั้นต้องทำให้หลอดไฟเข้ากันได้ดีกับโครงสร้างของเครื่องอบและเส้นทางการส่งแสง เราจะตรวจสอบประเภทของขั้วต่อ แรงดันไฟฟ้า และอินเตอร์เฟซการทำความเย็นก่อนอื่นเลย
หลอดไฟจำเป็นต้องอยู่ในช่วงอุณหภูมิที่กำหนดไว้ หากอยู่นอกช่วงนั้น อายุการใช้งานของหลอดไฟก็จะลดลง
นอกจากนี้ ควรมีการตรวจสอบและทำความสะอาดอุปกรณ์ประจำเพื่อรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิ มิฉะนั้นก็จะไม่สามารถรักษาความสม่ำเสมอที่ต้องการได้