На линии производства с длиной линий 300 мм печь кажется стабильной, но профиль свойств фотополимера все равно меняется после процедуры мягкой...

На производственном участке вы знаете процедуру. Отклонение ±0,5°C во время сушки фоторезиста достаточно, чтобы списать лот из 500 пластин....