Прекратите тратить энергию впустую в системах нагрева кремниевых пластин
При нагреве кремниевых пластин каждый ватт имеет значение. Проблема заключается в том, что стандартные корпуса из нержавеющей стали напоминают губку: они поглощают слишком много инфракрасной энергии. Это не только приводит к трате энергии, но и превращает корпус оборудования в огромный радиатор.
Мы решили эту проблему, покрыв внутреннюю поверхность корпуса нагревателя высокочистым золотом.
Почему именно золото?
Речь не идет о красоте. Дело в том, как золото взаимодействует с инфракрасным излучением. Лампы на основе галогена или кварца излучают световые волны, которые золото отражает обратно на пластину. Таким образом, золотой слой отражает до 98% фотонов обратно на пластину. Это позволяет направлять энергию именно туда, где она нужна.
Есть еще несколько практических аспектов. Мы изготавливаем корпуса из высококачественной нержавеющей стали, чтобы они не деформировались при высоких температурах. Чтобы золото не осыпалось, мы наносим его на поверхность с помощью вакуумного нанесения.
Но есть один недостаток: золото чувствительно к коррозионным газам. Если в процессе используются такие газы, покрытие может потускнеть. В этом случае отражательная способность уменьшается, а время обработки увеличивается. Если у вас такая ситуация, добавьте защитный кварцевый экран, чтобы золото оставалось чистым.
Как это помогает вам
Самое большое преимущество — это скорость. Вы сможете достичь нужных температур гораздо быстрее. Это дает вам два варианта: либо снизить мощность ламп, чтобы не перегружать источник питания, либо сократить время подготовки оборудования и обработать больше пластин за один цикл.
Еще один совет: при подключении оборудования обязательно настройте контроллеры PID. Система становится более чувствительной, поэтому необходимо учитывать это.
Кроме того, поскольку тепло концентрируется именно на пластине, остальная часть оборудования остается прохладной. Вентиляторы будут работать значительно менее интенсивно, что является преимуществом для всех.