Aquecimento por IR versus ar forçado: qual método realmente funciona para a sua fábrica?
Se você ainda está usando circulação de ar quente para o processamento profundo de semicondutores, provavelmente está perdendo muito tempo apenas esperando que tudo esquente.
Pense nisso: com ar forçado, você precisa aquecer todo o ambiente só para levar uma pequena placa até a temperatura desejada. É lento e ineficiente. Há também um atraso irritante, enquanto você espera que o calor alcance a placa.
O aquecimento por IR é diferente. Ele não se preocupa com o ar em absoluto. Ele envia energia diretamente para o substrato.
É rápido. Muito rápido.
Isso muda completamente o fluxo de trabalho. Em vez de esperar minutos para que as coisas esquentem, e depois lidar com os problemas causados pelo aumento excessivo da temperatura, o aquecimento por IR faz o trabalho em segundos.
Com esse tipo de controle, você não precisa mais se preocupar com a difusão de dopantes ou com o empenamento da placa. Você simplesmente consegue fazer o trabalho.
Mas não basta colocar uma lâmpada de alta potência na fábrica e pronto. Ela vai se estragar rapidamente.
É aí que entra o escudo de vidro de quartzo. Usamos quartzo de alta pureza, pois ele é praticamente invisível às radiações de infravermelho de onda curta. O calor passa através dele, mas a lâmpada fica protegida do ambiente hostil do processo.
Porém, esses escudos sofrem bastante com as mudanças de temperatura. Eles passam de frios para extremamente quentes em instantes. Se você usar um material inadequado de quartzo – algo que não suporte bem as expansões térmicas – ele vai quebrar. Simples assim.
Não estou dizendo que o aquecimento por IR seja uma solução mágica. Ele tem suas limitações.
Como a radiação é direcional, você precisa ter cuidado com a posição das lâmpadas. Se você errar mesmo que alguns milímetros, haverá pontos quentes na placa, o que é difícil de resolver.
Você precisa ajustar corretamente a geometria dos refletores e a distância do escudo para manter tudo uniforme. Além disso, você precisa de um sistema de resfriamento capaz de lidar com esse calor localizado. Caso contrário, a estrutura da fábrica vai sofrer deformações.
É preciso planejamento adicional, mas a velocidade obtida como retorno? Essa é a verdadeira vantagem.